PE 作业指导书编制人/日期： 审核人/日期： 批准人/日期：1目的为了确保 PE 车间安全生产和员工标准操作，提高生产效率，特制定本标准。2范围本标准规定了 PE 车间员工标准操作及留意事项，适用于 PE 车间全体操作人员。3相关文件《清洗不净特别处理流程》《18#片特别处理流程》4定义无5职责PE 车间全体操作人员对此项工作负责。6环境PE 车间重点监控点洁净度要求如下：装片工作区〔包括湿法刻蚀上下料工作区〕和管 P 装片和卸片工作区洁净度要求 100，000 级以下〔即≥0.5μm 的尘粒最大允许数/立方米小于 3，500，000 个〕。7职业安康安全无8治理内容8.1捷佳创管式 PECVD 生产操作标准8.1.1根本操作流程取 一 组 清 洗 洁 净 的 硅片和一篮补片 按要求每舟装 252 片正常片进舟〔选工艺曲线，并记录机号、舟号和时间〕记录出片数，送到指定的印刷线 将 252 片正常片卸到相应的印刷篮里测量膜厚、折射率最左边一篮为补片 PECVD 生产作业流程8.1.2标准操作步骤8.1.2.1工作前预备8.1.2.1.1严格佩戴劳保用品，戴好活性炭口罩和 PVC 手套。8.1.2.1.2待镀膜的硅片按组分开放置在工作台上，每组 396 片〔16 个小花篮〕必需与补片在工作台分区摆放，如图 16；同一组补片装片时分到其他管 P，镀膜完毕后合并下传印刷，每台管 P 分到的补片为 8 篮。工作台划分示意图8.1.2.1.3工作用品的检查：检查真空吸盘真空压力大小，检查石墨舟是否有损坏，检查小车无损坏并可识别机台。8.1.2.1.4镀膜 Q-Time 要求：从甩干完成到管 P 进舟时间不得超过 1h。8.1.2.2PECVD 岗位作业流程8.1.2.2.1取片：取一篮补片放在装舟架子的最左边〔有红色特别标记， 如图 17〕；再从整组硅片里取 6 篮并排靠右放在架子上，预备好之后开头装片。装舟8.1.2.2.2装舟 A 面：右侧员工确定石墨舟电极在右手侧后，开头装片，上舟按钮此时两个人全部装整组硅片，全部正着装片〔设定装在舟片的 A 面〕，即 A 面 108 片全部为整组片。8.1.2.2.3旋转石墨舟：装满 A 面，检查无漏装叠片；将小车拉出一个空间，然后旋转石墨舟 180 度，预备装 B 面。8.1.2.2.4装舟 B 面：旋转之后，左侧员工先确定石墨舟电极在左手侧， 则用补片将石墨舟的左边第一列装满 18 片，其余 5 列全部装整组硅片，全部正着装片〔B 面〕，即 B 面包括 18 片补片和 90 片整组片。8.1.2.2.5复位：检查无漏装叠片；然后将石墨舟旋转 1...
