卢瑟福背散射谱法卢瑟福背散射谱法 英文名称：Rutherford back scattering spectroscopy 定义：以兆电子伏特级的高能氢元素离子通过针形电极(探针)以掠射方式射入试样，大部分离子由于试样原子核的库仑作用产生卢瑟福散射，改变了运动方向而形成背散射。测量背散射离子的能量、数量，分析试样所含有元素、含量和晶格的方法。 卢瑟福背散射光谱(RBS)是一种离子散射技术,用于薄膜成份分析。 RBS 在量化而不需要参考标准方面是独一无二的。 在 RBS 测量中，高能量(MeV)He+离子指向样品，这样给定角度下背向散射 He 离子产生的能量及分布情况被记录下来。因为每种元素的背向散射截面已知， 就有可能从 RBS 谱内获得定量深度剖析 (薄膜要小于 1 毫米厚). 1、RBS 分析的理想用途 薄膜组成成份/厚度 区域浓度测定 薄膜密度测的（已知厚度） 2、RBS 分析的相关产业 航天航空 国防 显示器 半导体 通信 3、RBS 分析的优势 非破坏性成分分析 无标准定量 分析 整个晶圆分析（150, 200, 300 mm）以及非常规大样品 导体和绝缘体分析 氢元素测量 4、RBS 分析的局限性 大面积分析 （~2 mm） 有用信息局限于 top ~1 μm
