CP、FT、WATCP 是把坏的 Die 挑出来,可以减少封装和测试的成本
可以更直接的知道 Wafer 的良率
FT 是把坏的 chip 挑出来;检验封装的良率
现在对于一般的 wafer 工艺,很多公司多把 CP 给省了;减少成本
CP 对整片 Wafer 的每个 Die 来测试而 FT 则对封装好的 Chip 来测试
CP Pass 才会去封装
然后 FT,确保封装后也 Pass
WAT 是 Wafer Acceptance Test,对专门的测试图形(test key)的测试,通过电参数来监控各步工艺是否正常和稳定;CP 是 wafer level 的 chip probing , 是 整 个 wafer 工 艺 , 包 括backgrinding 和 backmetal(if need),对一些基本器件参数的测试,如 vt(阈值电压),Rdson(导通电阻),BVdss(源漏击穿电压),Igss(栅源漏电流),Idss(漏源漏电流)等,一般测试机台的电压和功率不会很高;FT 是 packaged chip level 的 Final Test , 主 要 是 对 于 这 个 ( CP passed)IC 或 Device 芯片应用方面的测试,有些甚至是待机测试;Pass FP 还不够,还需要做 process qual 和 product qualCP 测试对 Memory 来说还有一个非常重要的作用,那就是通过 MRA计算出 chip level 的 Repair address,通过 Laser Repair 将 CP 测试中的Repairable die 修补回来,这样保证了 yield 和 reliability 两方面的提升
CP 是对 wafer 进行测试,检查 fab 厂制造的工艺水平FT 是对 package 进行测试,检查封装厂制造的工艺水平对于