CP、FT、WATCP 是把坏的 Die 挑出来,可以减少封装和测试的成本。可以更直接的知道 Wafer 的良率。FT 是把坏的 chip 挑出来;检验封装的良率。现在对于一般的 wafer 工艺,很多公司多把 CP 给省了;减少成本。CP 对整片 Wafer 的每个 Die 来测试而 FT 则对封装好的 Chip 来测试。CP Pass 才会去封装。然后 FT,确保封装后也 Pass。WAT 是 Wafer Acceptance Test,对专门的测试图形(test key)的测试,通过电参数来监控各步工艺是否正常和稳定;CP 是 wafer level 的 chip probing , 是 整 个 wafer 工 艺 , 包 括backgrinding 和 backmetal(if need),对一些基本器件参数的测试,如 vt(阈值电压),Rdson(导通电阻),BVdss(源漏击穿电压),Igss(栅源漏电流),Idss(漏源漏电流)等,一般测试机台的电压和功率不会很高;FT 是 packaged chip level 的 Final Test , 主 要 是 对 于 这 个 ( CP passed)IC 或 Device 芯片应用方面的测试,有些甚至是待机测试;Pass FP 还不够,还需要做 process qual 和 product qualCP 测试对 Memory 来说还有一个非常重要的作用,那就是通过 MRA计算出 chip level 的 Repair address,通过 Laser Repair 将 CP 测试中的Repairable die 修补回来,这样保证了 yield 和 reliability 两方面的提升。CP 是对 wafer 进行测试,检查 fab 厂制造的工艺水平FT 是对 package 进行测试,检查封装厂制造的工艺水平对于测试项来说,有些测试项在 CP 时会进行测试,在 FT 时就不用再次进行测试了,节约了 FT 测试时间;但是有些测试项必须在 FT时才进行测试(不同的设计公司会有不同的要求)一般来说,CP 测试的项目比较多,比较全;FT 测的项目比较少,但都是关键项目,条件严格。但也有很多公司只做 FT 不做 CP(假如FT 和封装 yield 高的话,CP 就失去意义了)。在测试方面,CP 比较难的是探针卡的制作,并行测试的干扰问题。FT 相对来说简单一点。还有一点,memory 测试的 CP 会更难,因为要做 redundancy analysis,写程序很麻烦。CP 在整个制程中算是半成品测试,目的有 2 个,1 个是监控前道工艺良率,另一个是降低后道成本(避开封装过多的坏芯片),其能够测试的项比 FT 要少些。最简单的一个例子,碰到大电流测试项 CP肯定是不测的(探针容许的电流有限),...