PET生产供气系统一、供气系统的设计1
1过滤装置过滤器用于滤除空气中含有的固体颗粒、液态的水分和油分、臭味等各类杂质
气动系统中常用过滤器的工作原理是利用离心力除掉较大的固体颗粒、液态的水和油或利用滤芯过滤较小的固体颗粒、液态的水和油
主管路过滤器安装在主管路中,清除压缩空气中的油污、水分和粉尘等,以提高下游干燥器的工作效率,延长精密过滤器的使用时间
过滤精度为3um(去除95%)
空气过滤器可除去压缩空气中固态杂质、液态的水滴和油污,不能除去气态的水和油
2管路的正确选择气动回路的正确布置是高纯净度气体供气系统的重要组成部分,是能否将符合要求的高纯净度气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术
气体气动回路的布置应注意以下几点:(1)高纯净度气体输送管网不宜过大或过长,一般采用树枝状布置,若条件合适时可采用环行管路
(2)管路系统应避免或减少不流动气体的“死空间”、“盲管”
(3)对气体纯度要求不同的用气点,宜采用分等级设置供气系统;也可根据用气点的具体情况,采用同等级输送系统,但在纯度或杂质要求严格的用气点邻近处设末端气体纯化装置
(4)为减少气体输送过程的扰动,应采用较低的实际气流速度1
3减压阀的正确选择在气源出口及气源处理系统之后,管路上串联精密的减压阀,用于将供气压力调整至气浮轴承的用气压力
由于气浮台需要小流量、稳定的供气压力下的气源,因此必须保证流经过减压阀之后的气体压力波动很小,以保证气浮轴承能稳定的工作
二、供气设备注意事项①必须采用无油空气压缩机
②选用储气罐易大不易小,容量较大可减少压缩机的启动次数,这样可延长压缩机的寿命,但容量越大价格越高,一般不应超过计算容量的30%
③管道安装前应对管内反复用压缩空气吹扫,安装后再吹扫一次,并检查接口有无漏气现象
④这些设备的占地面积应大于10m2,房间的墙壁应做消音处理,供气房必须干燥通风
⑤电源应按国家标