第1页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共66页◎A开头的单字◎1.Abort取消操作2.Abnormal异常第2页共66页第1页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共66页3.AceticAcid（CH3COOH）醋酸4.Acetone（CH3COCH3）丙酮5.Acid酸6.Add增加7.Adjust调整8.AirShower洁净走道第3页共66页第2页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共66页9.Alignment对准10.Alloy合金11.Aluminum（Al）铝12.Ammonia（NH4OH）氢氧化胺（俗称:氨水）13.Analysis分析14.AR氩气15.Automation自动化◎B开头的单字◎1.Bake烘烤2.Bank暂存3.Barcode条形码4.Batch整批5.BHLD被工程师或客户BankHold短时间内不会Run的货第4页共66页第3页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第4页共66页6.BlueTape蓝膜7.Boat石英晶舟第5页共66页第4页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第5页共66页8.Bottom底部9.BreakdownVoltage击穿电压10.Broken破片；损坏11.Buffer生产暂存区12.BufferChemical缓冲液◎C开头的单字◎1.Calibration校正；调整2.Camera照相机；摄影机3.Cancel清除4.Candela（cd）烛光5.Cart手推车6.Cassette晶舟第6页共66页第5页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第6页共66页7.Certify技能认证8.Chamber反应室9.Charge电荷10.Chipping崩裂11.ChipSuctionPen真空吸笔第7页共66页第6页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第7页共66页12.ChipTransfer-m(Machine)翻转机13.CleanBench清洗台14.CleanRoom洁净室15.Cleaning清洗16.CleaningSequence清洗程序第8页共66页第7页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第8页共66页17.Clear清除第9页共66页第8页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第9页共66页18.Coat涂布19.Coater上光阻机台20.Coating上光阻；涂布上整个表面第10页共66页第9页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第10页共66页21.Completed结束；完成22.Confirm确认23.Contact接触24.Contamination污染25.ControlWafer（C/W）控片26.Controller控制器27.CoolingWater冷却水28.Crucible，Pot坩埚29.Curing烘烤30.Customer客户31.CVD(ChemicalVaporDeposition)化学汽相沉积32.CycleTime生产周期◎D开头的单字◎第11页共66页第10页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第11页共66页1.DailyMonitor每日检测2.Data资料；数据3.Date日期4.Defect缺点；缺陷第12页共66页第11页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第12页共66页5.Defocus散焦；无法聚焦第13页共66页第12页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第13页共66页6.Del(Delete)清除；删除7.Delay延迟8.Department部门第14页共66页第13页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第14页共66页9.Deposition（DEP）沉积第15页共66页第14页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第15页共66页10.Develop显影11.Developer显影器；显影液12.Die，Chip晶粒（台）；芯片（陆）13.DIWater去离子水14.Dicing切割15.Down当机16.Drain泄出第16页共66页第15页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第16页共66页17.DryEtching干蚀刻18.DryPump干式(无油封)的真空泵19.DummyWafer（D/W）挡片◎E开头的单字◎1.E/R(EtchingRate)蚀刻率2.EmergencyStop紧急停止3.EMO紧急停止按钮4.Endpoint终点值5.Engineer工程师6.Epi–wafer磊晶片（台）；外延片（陆）7.Equipment机台；设备8.ErrorMessage错误讯息9.Etching蚀刻第17页共66页第16页共66页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第17页共66页10.Evaporatio...
