SEMIS2半导体制程设备平安准那么2003年9月29日Content:1.目的；2.范围；3.考前须知；4.参考标准；5,术语；6.平安理念；7.一般准那么；8,评估过程；9.提供给使用者的文件；10,危险性警告标志；11,平安连锁装置；12,紧急停机；13,电气平安；14,消防平安；15,化学物质加热槽；16,人体工学；17,危险能量隔离；18,机械设计平安；19,地震保护；20,自动机械设备；21,环境因素；22,排气；23,化学品安全；24.游离辐射平安；25.非游离辐射平安；26.激光平安；27.噪音1.目的(PURPOSE)为了半导体制程设备提供一套实用的环保、平安和卫生准那么.2.范围(SCOPE)适合于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备.3.考前须知(LIMITATIONS)3.1不可作为了检验是否符合本地法规要求的依据；3.2没有提供非常详细的半导体制程设备ESH准那么；3.3参考了众多的国际性法规、标准等.但只是被引用的条文适合于此标准,并不是被引用的标准或法规等所有条文都适合.4.参考标准(REFERENCEDSTANDARDS)4.1SEMIStandards4.2ANSIStandards(RadioFrequency)4.3CEN/CENELECStandards(Explosion)4.4IECStandards(Electrical)4.5ISOStandards(Robotmanipulation)4.6NFPAStandards4.7ACGIH(IndustrialVentilationManual)5.术语(TERMINOLOGIES)5.1不可燃物质(Non-combustiblematerial):在一般条件(anticipatedconditions)下,受热或在火焰中不可燃烧,也不支持燃烧或遇热不可释放出易燃蒸汽之物质.典型不可燃物质有金属、陶瓷、石英等.5.2可燃物质(Combustiblematerial):具有火焰传播水平或不满足上述"不可燃物质"定义之物质.5.3易燃气体(Flammablegas):在101.3KPa和20C下,可以和空气形成可被点燃的混合物的气体.5.4自燃物质(Pyrophoricmaterial):54.4C以下在空气中可以自燃的化学品.5.5易燃液体(Flammableliquid):闪点小于37.8C(100F)之液体.5.6游离辐射(Ionizingradiation):a、.、丫粒子,X射线,中子,高速离子,高速质子等所有在人体器官内可产生离子之粒子或射线.5.7非游离辐射(Non-ionizingradiation):电磁波长在100nm以上者,包含普通电频、微波、红外线、紫外线及可见光等.5.8水平平衡(Massbalance):输入与输出的水平流率定性(或定量)平衡.5.9灾祸(Mishap):对人体造成死亡、伤害、职业病或对设备、财产、环境造成损失的未预计的或一系列的事件(events).5.10职业曝露浓度极限(Occupationalexposurelimits,OELs):以一天工作8小时为了计算根底.PEL,TLV等皆属于职业曝露浓度极限定义之专业名词.不同国家对PEL等的定义之标准可能不一致.5.11生殖毒害品(Reproductivetoxicant):已证实或疑心对胚胎产生畸形危险,或对胚胎发育及人体生殖功能有明显负面影响的化学物质.5.12风险(Risk):以危害严重性和危害机率表示发生灾难的可能性.5.13速度压力(Velocitypressure,VP):使空气速度从零到要求的速度所需要的压力值.VP和空气流的动能成正比.5.14失效也是平安的(FailSafe):一种设计,当系统中任何组件失效时,不可造成危险的升级.比方：一个具有失效也是平安设计的温度控制仪,如果失效,会立即停止制程,但同时还可以指示实际温度值.5.15危害性制程物料(HazardousProductionMaterial,HPM):一种固体、流体或气体,其危险程度依NFPA704标准之等级回类在健康危害、易燃性或反响性为了3或4,直接用于研究、实验室或生产制程者,且其最终产品不具任何危害性.5.16无线电频率(RadioFrequency,RF):频率范围由3KHz到300GHz的电磁波.微波是频率300MHz到300GH次电磁波.5.17连锁(Interlocks):硬件连锁一一种由电气机械组件、电缆线或光连结,已经程序设定好的机械控制电路.当电路被切断时,最终的控制部份无法操作.软件连锁一计算器控制程序.在其支配之下,装置可或不许被人操作.任何涉及不同程度的平安,软件安全连锁需要硬件平安连锁作支持.5.18物质平安资料表(MaterialSafetyDataSheets,MSDS):书面或印制的危害物质之资料,它是依照29CFR1910.1200(OSHA格式20)之规定制作的.6.平安理念(SAFETYPHILOSOPHY)6.1在设备生命周期(安装、操作、保养及废弃处置)中,对其可能发生的潜在平安及卫生危害进行消除,或通过防护举措来减少这种危害.6.2在半导体制程设备设计、制造...
