CDA系统及制程真空系统简介精讲VIP免费

压缩干燥空气及制程真空系统厂务四处空调课第一页，共三十八页。~第一单元~压缩干燥空气系统第二页，共三十八页。压缩干燥空气系统系统目的?提供低含水量之压缩洁净空气需求设备?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机)?吸附式干燥机(冷冻式干燥机)?微粒子过滤器质量要求(各厂需求略有不同)?系统末端压力高于7.0kg/cm2?空气露点温度低于-70(℃水份含量低于0.12ppm)?微粒数少于10颗/ft3第三页，共三十八页。压缩干燥空气系统压力单位?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi(lb/in2)、Pa(N/m2)、Bar(105Pa)、Torr大气压力?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=760Torr绝对压力?表压力+大气压力压力换算?1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi第四页，共三十八页。压缩干燥空气系统风量单位?CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)单位换算?1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH=(3.28ft)3/min=35.3CFM特定风量条件?StandardCondition(SCMM)：1atm、20℃、65%R.H?NormalCondition(NCMM)：1atm、0℃、0%R.H第五页，共三十八页。压缩干燥空气系统Standard&Normal风量转换?理想气体定律?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2?P：绝对压力?T：绝对温度Standard&Normal风量转换范例?100SCMM=NCMM?理想气体定律(1.033kg/cm2*100SCMM)/(20+273)℃=(1.033kg/cm2*NCMM)/(0+273)℃?Ans：93.17NCMM?Q(Standard)>Q(Normal)第六页，共三十八页。压缩干燥空气系统压缩干燥空气处理流程第七页，共三十八页。压缩干燥空气系统离心式空气压缩机第八页，共三十八页。压缩干燥空气系统离心式空气压缩机冷凝水橈性接頭油過滤器油温控制阀油冷却器主油泵油加热器油箱旁通阀过滤網油空氣水後冷却器中間冷卻器中間冷卻器辅油泵進口空氣过滤器和消音器進口調節導葉止回阀排油氣風扇及過滤器第九页，共三十八页。压缩干燥空气系统IGV&BOV第十页，共三十八页。压缩干燥空气系统干燥机组件介绍第十一页，共三十八页。压缩干燥空气系统干燥机组件介绍~气动控制阀件第十二页，共三十八页。压缩干燥空气系统干燥机温度/压力表(机械式)入口壓力出口壓力A桶槽壓力B桶槽壓力冷卻壓力A桶槽溫度B桶槽溫度排氣出口溫度第十三页，共三十八页。压缩干燥空气系统干燥机温度/压力表(机械式)InletPressureLeftChamberPressureA桶槽B桶槽OutletPressurePurgeRightChamberPressureMoistureIndicator1.蓝色?正常2.粉红?含水第十四页，共三十八页。压缩干燥空气系统干燥机温度/压力表(机械式)B桶槽冷却压力第十五页，共三十八页。压缩干燥空气系统干燥机温度/压力控制开关(电子式)加热温度控制开关(维持200)℃加热器温度保护开关(370)℃B桶槽高温切换保护开关(50)℃A桶槽高温切换保护开关(50)℃空气出口温度监视点A桶槽建压压力开关(45psi)B桶槽建压压力开关(45psi)加热结束温度控制开关(80)℃第十六页，共三十八页。压缩干燥空气系统CycleTime(22hr)?单一桶槽依续完成吸附与再生过程之总时间吸附过程(11hr)?干燥粒吸收压缩空气所含水份之程序再生过程(11hr)?泄压程序(8min)：泄除欲再生桶槽保有之压力?加热程序(240minmax)：加温移除干燥粒子所含水份?冷却程序(410minmax)：冷却干燥粒以恢复吸附能力?建压程序(15min)：建立再生完成桶槽之压力第十七页，共三十八页。压缩干燥空气系统工作流程~吸附过程入口阀(桶槽切换时作动)A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)吸附桶槽待机桶槽建压阀(OFF)桶槽切换依据1.侦湿器作动(7.5~13kHz)2.时间控制(11hr)B桶槽高温切换保护开关(50)℃A桶槽高温切换保护开关(50)℃第十八页，共三十八页。压缩干燥空气系统再生过程~泄压程序(8min)入口阀A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(ON)B桶泄压阀(OFF)泄压桶槽吸附桶槽建压阀(OFF)第十九页，共三十八页。压缩干燥空气系统再生过程~加热程序(240minmax)入口阀A桶排气阀(ON)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)加热桶槽吸附桶槽建压阀(OFF)加热温度控制开关(维持200)℃加热器温度保护开关(370)℃加热结束温度控制开关(80)℃1.鼓风机启动2.加热器启动第二十页，共三十八页。...