日期:2009/01/17版次:01核准:審核:製作:邱益碧/呂健進IE/CE總處/LHCE處無塵室設計常用參數選型介紹IE/CE總處/LHCE處Agenda1、無塵室基本知識2、MAU選型3、DC選型4、FFU、回風面積分布5、水泵選型6、无尘室计算常用表單IE/CE總處/LHCE處1、無塵室基本知識1、無塵室基本知識無塵室基本知識1
1、设计基本理念1
2、無塵室特點1
3、全國氣象參數1
4、空氣線圖1
5、無塵室等級標準IE/CE總處/LHCE處1
1、设计基本理念-11
1、设计基本理念-1安全防灾防爆规划Crisis-proofPlan安全防灾防爆规划Crisis-proofPlan製程機密防護ConfidentialityofProductionProcessProcess製程機密防護ConfidentialityofProductionProcessProcess結合空氣、水、熱源,提供適應各種需求之最佳環境IE/CE總處/LHCE處目目前無塵室測試分三階段:第一階段AsBuilt:第二階段AtRest:第三階段OperationAsBuilt:無塵室架構及空調都完成,無人員進入、且無設備進入
AsRest:無塵室架構及空調都完成,無人員進入、但設備已進入
Operation:無塵室架構及空調都完成,人員進入、設備進入,已開始生產
目前一般無塵室測試項目及程序如下:1
濾網風速測試(Airflowvelocitytesting)2
濾網洩漏測試(Filterleakagetesting)3
無塵室內溫溼度測試(Temperature&Humiditytesting)4
無塵室內壓差測試(Roompressurizationtesting)5
無塵室內噪音測試(Noiseleveltesting)6
無塵室內照度測試(Lightingleveltesting)