单晶炉故障维修-----有问必答
单晶炉故障,有问必答
希望各位多多支持
问题大家讨论
;大兵;大兵;大兵;大兵Dante2009-7-1821:37支持楼主
shenmou4672009-7-1914:28对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5,转数上不去怎么解决
经帮晃动和页面抖动怎么解决
(汉宏0直线导轨2009-7-1918:31[quote]原帖由shenmou467于2009-7-1914:28发表对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5,转数上不去怎么解决
经帮晃动和页面抖动怎么解决
(汉宏85炉子)
谢谢[/quote]第一个问题再说的清楚点
晶棒晃动:这种现象俗称"棒摆"棒摆会发生在整个拉晶的各个阶段:引晶/生长/收尾棒摆的原因有很多,不是单单一个方面引起的
曾经美国****公司花巨资专门研究这个为题
也没有得出明确结论
但主要方面有以下几点
软轴(钢丝绳)2
提拉头,减速机构/旋转机构
氩气(流量/气流在炉内的流动)5
热场设计/分布7
真空系统(泵/管道)8
冷却系统(水流/水温)9
硅料(如拉电子级棒,不同型号的棒子
重锤(形状/重量/精度液面抖动原因:1
下轴机械部分:有死点/杂物/欠缺润滑/轴弯了
下轴传动部分,减速器故障
下轴和炉体之间有杂物
(已发生在漏硅后,没有清理干净)4
检查电机驱动部分
伺服电机不会出现这种现象
直流电机经常发生
btsunny2009-7-1919:41学习;握手直线导轨2009-7-1920:22谢谢[捧场
tzlijf2009-7-1921:50华盛天龙的85炉,现在有四只炉拉出的晶棒上有白斑,不知是何原因,[attach]64525[/attach][attach]64526[/attach]btsunny2009-7-1922:10是不是刚刚清完