纳米线场效应管一.什么叫纳米线在纳米尺度下,物质中电子的波性以及原子之间的相互作用将受到尺度大小的影响
由纳米颗粒组成的纳米材料具有以下传统材料所不具备的特殊性能:(1)表面效应(2)小尺寸效应(3)量子尺寸效应(4)宏观量子隧道效应纳米材料按维数可分为:零维的纳米颗粒和原子团簇,它们在空间的三维尺度均在纳米尺度内(均小于100nm);一维的纳米线、纳米棒和纳米管,它们在空间有二维处于纳米尺度;二维的纳米薄膜,纳米涂层和超晶格等,它们在空间有一维处于纳米尺度
近年来,一维的纳米材料如纳米管,纳米线已成为纳米科学研究的热点,一维纳米材料的奇异物理、化学特性和在构建纳米级电子和光电子器件方面的巨大应用潜力推动了纳米线(管)的生长和特性研究
纳米材料的量子尺寸效应,小尺寸效应,表面效应吲和界面效应使其具有一系列优异的电、磁、光、力学和化学等宏观效应,使材料在电学、机械、化学和光学方面出现了独特的性能
目前世界各国都将此方面的研究列为重点发展项目
我国也很重视此方面的研究
我国著名科学家钱学森在1991年就曾预言“纳米左右和纳米以下"研究领域处于国际领先地位
近年来,随着集成电路加工技术的不断发展,器件加工尺度已进入45nm范畴,当今纳米尺度新型半导体材料和器件的制备和特性研究越来越成为半导体器件领域的研究热点
通过将碳纳米管、硅纳米线等半导体纳米线直接搭接在金属隔离沟道电极两端,世界上多个研究组已制作出了纳米尺度的新型场效应晶体管,研究发现,这种由单根半导体纳米线组装的新型场效应晶体管,具有制备工艺简单,成本低,易于生产制造等特点
对开发新型半导体器件有很大的参考和价值,对未来的集成电路工业的发展具有的重要的指导意义和现实意义
近来纳米氧化锌(ZnO)半导体材料的应用研究已成为世界范围内半导体材料领域的研究热点
ZnO是宽禁带半导体材料,室温下禁带宽度Eg=3.37eV,激子束缚