POWERMOSFETS平面VDMOS的剖面图,一般是60V以上的器件,采用1
5um以上的工艺,所以国内以前做IC的厂家都能做
一般是60V以下的器件,沟槽VDMOS的剖面图,厂家才能做
5um以下的工艺,所以国内高档的所以加工线的条件非常重要,如加工的线条、刻槽技术、工艺线的环境
加工线的条件不太重要,所以现在很多的老的5寸、6寸线在做
但对材料要求很高,是高阻厚外延材料
加工线的条件及材料要求都很高
只有国外几家公司在做,如IR、INFINEON
随着加工技术及设计技术的提高器件的特性不断地改进(以导通电阻为列)
平面IGBT的剖面图,一般是400V以上的器件,采用2um以上的工艺,所以国内以前做IC的厂家都能做,但设计及材料要求都很高
VDMOS和双极管特性比较特性VDMOS双极管电流能力小大功率处理能力小大击穿电压以下1000V可到3000V开关速度快慢二次击穿无有温度特性负温特性,好,可多个器件串并联正温特性,不好,多个器件不好串并联驱动方式电压驱动,驱动电路简单电流驱动,驱动电路复杂的兼容性和IC好差工艺要求高低制造成本高低VDMOS的击穿电压:BV、VDSSBRVDMOS的击穿电压决定于:1、外延材料;浓度及厚度2、体单胞间距3、终端设计4、表面态等工艺控制VDMOS的导通电阻:R)(DSON低压(200V以下VDMOS的导通电阻(由大到小排列)1、单胞密度(沟道电阻)表面浓度(积累层电阻)2、3、外延材料;浓度及厚度(耐压区电阻)4、设计(颈部电阻)5、封装(有时会到主要地位)6、表面金属化(表面接触电阻)高压200V以上VDMOS的导通电阻(由大到小排列)外延材料;浓度及厚度(耐压区电阻)、1.单胞密度(沟道电阻)、23、设计(颈部电阻)4、表面浓度(积累层电阻)5、表面金属化(表面接触电阻)6、封装VDMOS的跨导:Gfs1、栅、源电压对漏