GENTECHCONFIDENTIAL2011-10-20无尘室安全工作规范无尘室安全工作规范——电气组电气组GENTECHCONFIDENTIAL一、洁净室定义与发展史•洁净室(CleanRoom),另称为清洁室或无尘室,其最主要之作用在于控制产品或医疗所接触之空间环境中的温湿度、微尘粒子、细菌等,使产品和医疗行为能在一个良好之环境空间中生产制造和进行,此空间环境我们称之为洁净室
换言之,洁净室之定义为一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音和振动、照明度、静电防治、电磁干扰等控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之空间,也即是不论外在之天气及空气条件如何变化,其室内均能具有维持原所设计定要求之洁净度,温度及气流等性能规范之特性
洁净室另一含义也可依洁净度等级之不同而加以定义:即洁净度一级(Class1)意表每立方英寸室内之空气中所含有大于或等于0
5um(10-6m)之微尘子不超过1颗(依照美国联邦标准209B为准);洁净室10级则为不超过10颗,100级,1000级
依此推现以简示之,即Class1:大于等于1pc/ft3(@小于等于0
5um);Class10:小于等于10pcs/ft3(@大于等于0
•GENTECHCONFIDENTIAL•由上所述,可知构成洁净室须具备之要素如下:•可去除漂浮与空气中的微粒子•可以防止及避免微粒子之产生•室内温湿度的控制调整•室内压力之调节•化学品、废气及有害气体物质之排除•建筑结构与室内内装隔间之气密性•电磁干扰之预防•静电之防制排除•工业安全因素之考虑•节约能源之考量•洁净室规范之发展史,由于二次世界打战时美国空军发现大部份飞机零件故障之原因,是来自于零件受粉屑、灰尘等之污染所导致,因此开始将这些轴承、齿轮等之精密零组件