ONEKEEPVIEW半导体中杂质和缺陷能级课件•半导体基础知识•杂质能级•缺陷能级目•能级对器件性能的影响•实例分析录01PART半导体基础知识半导体的定义和特性定义半导体是指导电性能介于导体和绝缘体之间的材料
特性具有热敏性、光敏性和掺杂性等特性,容易受到环境因素的影响
半导体的分类根据导电类型分类N型半导体和P型半导体
根据元素组成分类元素半导体和化合物半导体
根据应用分类集成电路半导体、太阳能电池半导体等
半导体中的能带结构01020304满带导带空穴带能级交错最高能带,无电子
最低能带,存在自由电子
中间能带,存在自由空穴
不同原子之间的能级交错分布,形成能级分裂
02PART杂质能级杂质元素的分类施主杂质受主杂质复合中心杂质深能级杂质如磷、砷,在半导体中如铁、钴、镍等,其能级位置深入到禁带中,对载流子有散射作用
如硼、碳,占据禁带中如金、铜,对电子和空占据导带底附近的位置,提供正电中心
的浅能级,提供负电中心
穴有俘获和再释放的作用
杂质在半导体中的行为固溶偏聚杂质原子替代晶格中的原子,成为晶体的一部分
杂质原子在晶体的一侧聚集
聚集反偏聚杂质原子在晶体中形成团簇
空位在晶体的一侧聚集
杂质能级在能带结构中的位置01020304施主杂质能级位于导带底附近,为电子可占据的能级
受主杂质能级位于价带顶附近,为空穴可占据的能级
复合中心杂质能级位于禁带中任意位置,取决于具体的复合中心
深能级杂质能级深入到禁带中,位置取决于具体的深能级杂质
杂质对半导体性能的影响改变载流子浓度和迁移率影响光学性能施主和受主杂质影响载流子浓度,从而影响半导体的导电性能
杂质影响半导体的光吸收和发光特性
产生散射中心影响热稳定性深能级杂质和复合中心杂质对载流子有散射作用,影响载流子的迁移率
某些杂质可以增强半导体的热稳定性
03PART缺陷能级缺陷的分类点缺陷线缺陷在晶体中占据一个位置的缺