电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体,号称三束改性
都具有高能量密度特性
顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体,离子束则以离子
离子束加工是一种元素注入过程,具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态,形成弥散化合物质点等效应,而电子束与激光束的主要作用在高能量,没有辐照、表面压缩等特性
电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体,号称三束改性
都具有高能量密度特性
顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体,离子束则以离子
离子束加工是一种元素注入过程,具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态,形成弥散化合物质点等效应,而电子束与激光束的主要作用在高能量,没有辐照、表面压缩等特性电子束聚焦点最细最深,激光束次之,离子束最粗
电子束聚焦直径(打孔)最小可以小于1um
电子束由电子组成,而离子束一般由金属粒子组成,本质的原理是一样的
都有溅射作用,对样品损伤也没一定的规律
但对于石英材料来讲,损伤很明显
电子束不会造成成分污染,但离子束会,相当于离子注入
加工特点:电子束:(1)
束径小、能量密度高;(2)
非接触加工,加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力,不产生宏观应力和变形;(3)
被加工对象范围广;(4)
电子束能量高,加工速度快、效率高;(5)
电子束加工需要一套专用设备和真空系统,价格昂贵
离子束:(1)
加工精度和表面质量高;(2)
加工材料广泛;(3)
加工方法丰富;(4)
性能好,易于实现自动化;(5)
应用范围广泛,可根据加工要求选择
激光束:(1)
加工精度高;(2)
加工材料范围广;(3)
加工性能好;(4)
加工速度快、效率高;(5)
价格昂贵加工方法:电子束;(1)
电子束扫描曝光;(2)
电子束投影曝光;(3)
电子束表面改性
离子束:(1)
离子束溅射去除加工;(2)
离子束溅射镀膜加工;(3)