目录第一章绪论错误!未定义书签。1.1课题背景及研究意义错误!未定义书签。1.2螺杆真空泵在国内外的研究现状与进展方向5第二章螺杆干式真空泵转子型线的研究72.1常见转子型线比较72.2多头双边对称圆弧型线8转子型线要素92.2.3多头双边对称圆弧型线方程11第三章螺杆干式真空泵工作原理15第四章螺杆干式真空泵设计计算18螺杆大体尺寸1..8排气量2..0理论排气量2..0实际排气量2..0进排气孔口2..1轴向进气口2..1轴向排气口2..2极限真空度、功率及冷却水量2.2轴的强度计算2..3同步齿轮的设计计算2..3齿轮尺寸计算2..3齿轮强度校核2..4参考文献：错误!未定义书签。螺杆式干式真空泵摘要：最近几年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中，对清洁真空环境的要求愈来愈高。如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺中，在液晶生产上利用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中，不但要求环境清洁，而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反映生成气体。这些问题都不是传统的有油泵所能解决的。本文的研究对象——螺杆式干式真空泵，抽气腔内无任何工作液，保证了被抽暇间不受污染;无油蒸汽排放，保证了外部环境的清洁。由于阴阳转子齿面间留有间隙，因此能够抽除含有粉尘，或有侵蚀性，有毒的气体。作者要紧着重于以下几个方面的研究：干式螺杆真空泵的大体原理。阴阳螺杆的型线研究。螺杆端面型线采纳双边对称圆弧型线，推导出啮合原理的数学表达式，成立几何模型推导出端面型线方程，继而推导出螺旋齿面方程。几何特性的研关键词：干式真空泵螺杆型线Abstract:Recently，inthesemiconductorprocessofplasmaenhancedchemicalvapordeposition(PEVCD)andreactiveionetching(RIE)，intheliquidcrystaldisplaydevicemanufactureprocessofetchingandPLASMACVDproduction,ithasnotonlyhighdemandofvacuumenvironmentcleanliness,butalsoneedtoextractahugeamountofreaction-gascontainingparticleanddust.Theconventionaloilpumpcan'tsolvetheproblemsmentionedabove.Theresearchobjectinthispaper-dryscrewvacuumpumphasnooperatingfluidintheextractingchamber.Itcanguaranteespaceextractedandoutsideclean.Itcanextractgascontainingmilldust,corrosivity,andpoison,becauseithassmallgapbetweentoothfaceofmaleandfemalerotors.Ihavefocusedontheresearchasfollowing.Theprofileresearchofmaleandfemalescrews.Theendfaceprofileisdoublesidesandsymmetricalcircles.Deducethemathematicexpressionofmeshingprinciple;establishthegeometricmodelanddeducetheequationsofendfaceprofile,thentheEquationsofhelicaltoothface.Theresearchofgeometricalproperties，etc.Keywords：dry(oil-free)vacuumpumpscrew干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵，一般以为是能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道中，不能利用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接持续向大气中排气的泵，也称无油真空泵。干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从全然上解决了油封式真空泵引发的各类问题。总的来讲是两种不同的需求推动开发出两种类型的干泵M。一类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽暇间内的返流为零，以爱惜工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个品级①清洁条件下的抽气，只抽干空气或含少量水蒸汽的空气；②中等条件下的抽气，抽除工艺进程的反映气体，但无固体颗粒物；③恶劣条件下的抽气，抽除化学反映物(有毒乃至致癌)及固体颗粒物。另一类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或侵蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。传统油封真空泵在石化领域所面对的难题人们往往通过选用水蒸汽喷射泵、水喷射泵、水环泵、水环-罗茨机组等途径加以解决。但往往系统过于庞大，噪声也专门大，同时工作进程中会产生很多的废水和其他的排放物，处置排出废物的投资也很昂贵。干泵的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵、爪型泵、祸旋泵、往复活塞泵、螺旋泵等•表I」12】是几种...
