AtomicForceMicroscopy原子力显微镜(AFM)目录:AFM的发展历史AFM的原理AFM的分类AFM机器的组成影响AFM分辨率的因素AFM技术应用举例照片举例AFM的缺点高级显微镜1938年,德国工程师MaxKnoll和ErnstRuska制造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM)1952年,英国工程师CharlesOatley制造出了第一台扫描电子显微镜(SEM)至此,电子显微镜的分辨率达到纳米级1983年,IBM公司苏黎世实验室的两位科学家GerdBinnig和HeinrichRohrer发明了扫描隧道显微镜(STM)应用电子的“隧道效应”这一原理,对导体或半导体进行观测隧道效应经典物理学认为,物体越过势垒,有一阈值能量;粒子能量小于此能量则不能越过,大于此能量则可以越过
例如骑自行车过小坡,先用力骑,如果坡很低,不蹬自行车也能靠惯性过去
如果坡很高,不蹬自行车,车到一半就停住,然后退回去
量子力学则认为,即使粒子能量小于阈值能量,很多粒子冲向势垒,一部分粒子反弹,还会有一些粒子能过去,好像有一个隧道,故名隧道效应(quantumtunneling)
可见,宏观上的确定性在微观上往往就具有不确定性
虽然在通常的情况下,隧道效应并不影响经典的宏观效应,因为隧穿几率极小,但在某些特丁的条件下宏观的隧道效应也会出现
AFM出现的意义STM的原理是电子的“隧道效应”,所以只能测导体和部分半导体1985年,IBM公司的Binning和Stanford大学的Quate研发出了原子力显微镜(AFM),弥补了STM的不足返回成像原理ExpulsiveforceatomatomAttractiveforceatomatom恒定力量或者恒定高度探针如何成像表面形貌和材料如何测量返回XYZMover垂直信號的變化即樣本的表面變化Cantil