武汉瑞芯科技有限责任公司无尘车间管理制度1.0管理程序5．1无尘车间施工管理制度5．2无尘车间干净度定时检测制度/测量原则5．3无尘车间人员管理制度5．4无尘车间干净服管理制度5．5无尘车间物流/干净室内设备及工器具管理制度5．6无尘车间清洁、清扫和灭菌管理5．7无尘车间干净室安全管理车间管理流程4.1货品进出规定4.2外来人员进出规范4.3施工人员进出作业规定1．0无尘车间管理的目的半导体产品生产过程对车间有明确的干净规定，为了满足生产工艺需要、确保产品质量、安全生产，必须对干净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。2．0无尘车间管理的原则2.1进入干净室的管理，涉及对干净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及有关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入无尘车间。2.2操作管理技术，对干净室内人员用干净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽量地减少、避免干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。2.3严格各类设备、设施的维护管理，制订对应的操作规程，确保各类设备、设施按规定正常运转，涉及净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺规定和空气干净度等级。2.4清扫、灭菌管理，对干净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及办法、周期和检查作明确的规定，避免、捎除干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。2.5干净室环境控制的内容涉及：空气净化、干净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、避免等。3．0合用范畴公司全部无尘生产区及干净辅助间(涉及人员净化用室、物料净化用室和无尘仓库管理室等)、车间内管理区(涉及部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的无尘厂房及其辅助用房。5．2无尘车间干净度定时检测制度/测量原则5.2.1为了确保干净室的干净度满足工艺规定，必须定时对干净室内的干净度进行检测。5.2.2检测测试设备：激光粒子记数器5.2.3检测周期：每七天一上午、下午对各干净区域进行一次检测5.2.4检测条件：静态干净度测试5.2.5数据收集整顿：将每次检测的成果输入监控室的电脑中储存，并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度的干净度统计图表电子档通报给各部门。5.2.6各干净区域干净级别原则：按照《半导体公司能源管理原则》规定执行。5.2.7干净室用净化空调系统及设备的维护管理与对应的操作规程、维修制度等（涉及净化空调系统和干净室有关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等）执行威世半导体(西安)有限公司厂务部有关SOP文献。5．3干净室人员管理制度5．3．1干净室的人员管理涉及：制订专职管理人员的职责、干净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入干净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。5．3．2人员净化与进入5.3.2.1在干净厂房内众多的污染源中，人是重要污染源之一，特别是工作人员在干净环境中的活动，会明显地增加干净环境的污染程度。5.3.2.2对于高级别干净区域，应严格控制进入人员数量，并规范进行二次更衣。5.3.2.3要获得生产环境所需要的空气干净度等级或延长空气过滤器的使用寿命，对进入干净室的人员、物料进行净化十分必要。5.3.2.4为保持干净室空气干净度，应尽量减少进入干净室人员带入的污染物。全部进人干净室的人员必须严格地按规定程序进行人身净化。5.3.2.5个人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妆，换上指定的服装，按空气干净度等级对应的脱衣次序脱衣，放在规定的衣柜内。5.3.2.6进入脱衣室，在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内，严禁不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。5.3.2.7若公司后期发展需要更高干净级别规定的干净区域（指高于ISOClass7级别）进入前，需要设立盟洗室用洗手器洗手（先用干净洗涤剂洗涤，再用干净水冲洗。洗涤后用自动烘手器烘干）。5.3.2.8但凡交叉污染的媒介，要经常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。要按规定戴手套和指套。
