武汉瑞芯科技有限责任公司无尘车间管理制度1
0管理程序5.1无尘车间施工管理制度5.2无尘车间干净度定时检测制度/测量原则5.3无尘车间人员管理制度5.4无尘车间干净服管理制度5.5无尘车间物流/干净室内设备及工器具管理制度5.6无尘车间清洁、清扫和灭菌管理5.7无尘车间干净室安全管理车间管理流程4
1货品进出规定4
2外来人员进出规范4
3施工人员进出作业规定1.0无尘车间管理的目的半导体产品生产过程对车间有明确的干净规定,为了满足生产工艺需要、确保产品质量、安全生产,必须对干净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制
2.0无尘车间管理的原则2
1进入干净室的管理,涉及对干净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及有关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入无尘车间
2操作管理技术,对干净室内人员用干净工作服的制作、穿着和清洗;操作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等,尽量地减少、避免干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等
3严格各类设备、设施的维护管理,制订对应的操作规程,确保各类设备、设施按规定正常运转,涉及净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等
以确保产品生产工艺规定和空气干净度等级
4清扫、灭菌管理,对干净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及办法、周期和检查作明确的规定,避免、捎除干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖
5干净室环境控制的内容涉及:空气净化、干净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、避免等
3.0合用范畴公司全部无尘生产区及干净辅助间(涉及人员净化用室、物料净化用室和无尘仓库管理室等)、车间内管理区(涉及部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的无尘厂房及其辅助用房
5.2无尘车间干净度