1/2兆声波清洗机院系：信息科学技术学院基本信息仪器编号0305699（7位）所属实验室微米纳米加工技术国重实验室（实验室全称）购置日期200210（建账日期）照片制造厂商BECO公司（仪器生产厂家全称）制造商国别美国（仪器出产地所在国）型号BECOⅡ单价98.8408（以人民币万元为单位，保留2位小数）责任教授存放地点微电子所实验室（仪器放置的具体地点）经费来源教学事业费技术指标及功能简介950MHz950MHz1）兆声功率范围0～950MHZ,可调节，满足不同的清洗使用要求；2）加热温度0～200℃，可调节，适于不同清洗液的使用；3）兆声功率及作用时间；加热温度及时间;冲水时间、循环次数等都可电脑控制与设定，使用起来方便精确4）技术指标满足超深亚微米器件及电路制备工艺的清洗要求（根据仪器说明书，以中文简要介绍仪器的关键技术规格及功能特点，字数不少于100字）相关科研信息主要研究方向（指该仪器主要被应用的研究方向）在研或曾承担重大项目（三年内该仪器作为主要科研手段曾参与或正在参与的省部级（含）以上科研项目）所获奖项或专利（三年内利用该仪器作为主要科研手段获得的省部级（含）以上奖项（含省部级以上专利）人才培养（请简要描述人才培养方式及数量。（培养方式包括实验教学、基础研究、应用研究、论文撰写等，其他培养方式可按实际情况填写））学术论文（三年内利用该仪器作为主要科研手段发表的学术论文数（三大检索）和5篇以内代表性论文清单）论文数序号作者（前三名）论文题目期刊名年，卷（期）起止页码12345知名用户（使用过该仪器的知名专家、学者）2/2共享信息服务对象1、本院系教学科研；2、本校教学科研；3、面向社会开放（请划√）是否对外开放（是否对本课题组外开放）开放时间（仪器可供组外使用的机时区间）联系人联系电话电子邮件收费标准（说明仪器对校内、外的收费标准）好资料
