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等离子体增强化学气相沉积技术基础VIP免费

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§ 1.1 等离子体概论 § 1.1.1 等离子体的基本概念和性质 近代科学研究的结果表明,物质除了具有固态、液态和气态的这三种早为人们熟悉的形态之外,在一定的条件下,还可能具有更高能量的第四种形态——等离子体状态。例如通过加热、放电等手段,使气体分子离解和电离,当电离产生的带电粒子密度达到一定的数值时,物质的状态将发生新的变化,这时的电离气体已经不再是原来的普通气体了。由于这种电离气体不管是部分电离还是完全电离,其中的正电荷总数始终和负电荷总数在数值上是相等的,于是人们将这种由电子、离子、原子、分子或者自由基团等粒子组成的电离气体称之为等离子体。 不管在组成上还是在性质上,等离子体不同于普通的气体。普通气体由电中性的分子或原子组成,而等离子体则是带电粒子和中性粒子的集合体。等离子体和普通气体在性质上更是存在本质的区别,首先,等离子体是一种导电 流体,但是又能在与气体体积相比拟的宏观尺度内维持电中性;其次,气体分子间不存在净电磁力,而等离子体中的带电粒子之间存在库仑力;再者,作为一个带电粒子体系,等离子体的运动行为会受到电磁场的影响和支配。因此,等离子体是完全不同于普通气体的一种新的物质聚集态。应当指出,并非任何的电离气体都是等离子体。众所周知,只要绝对温度不为零,任何气体中总存在有少量的分子和原子电离。严格地说来,只有当带电粒子地密度足够大,能够达到其建立的空间电荷足以限制其自身运动时,带电粒子才会对体系性质产生显著的影响,换言之,这样密度的电离气体才能够转变成等离子体。除此之外,等离子体的存在还有其特征的空间和时间限度,如果电离气体的空间尺度 L 不满足等离子体存在的空间条件L>>lD(德拜长度 lD 为等离子体宏观空间尺度的下限)的空间限制条件,或者电离气体的存在的时间 不满足 t>>tp(等离子体的振荡周期 tp 为等离子体存在的时间尺度的下限)时间限制条件,这样的电离气体都不能算作等离子体。 § 1.1.2 等离子体的特性参数描述 等离子体的状态主要取决于它的组成粒子、粒子密度和粒子温度,其中粒子密度和温度是描述等离子体特性的最重要的基本参量。 1)粒子密度和电离度 如前所述,组成等离子体的基本成份是电子、离子和中性粒子。通常分别用ne、ni 和ng 来表示等离子体内的电子密度、粒子密度和未电离的中性粒子密度,而当ne=ni 时,则可用n 来表示二者中任一个带电粒子的密度,简称为等离子体密度...

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