acceptance testing (WAT: wafer acceptance testing) 2
acceptor: 受主,如 B,掺入 Si 中需要接受电子 3
Acid:酸 4
Active device:有源器件,如 MOS FET(非线性,能够对信号放大) 5
Align mark(key):对位标记 6
Alloy:合金 7
Aluminum:铝 8
Ammonia:氨水 9
Ammonium fluoride:NH4F 10
Ammonium hydroxide:NH4OH 11
Amorphous silicon:α-Si,非晶硅(不是多晶硅) 12
Analog:模拟的 13
Angstrom:A(1E-10m)埃 14
Anisotropic:各向异性(如 POLY ETCH) 15
AQL(Acceptance Quality Level):接受质量原则,在一定采样下,能够 95%置信度通过质量原则(不同于可靠性,可靠性规定一定时间后的失效率) 16
ARC(Antireflective coating):抗反射层(用于 METAL 等层的光刻) 17
Argon(Ar)氩 18
Arsenic(As)砷 19
Arsenic trioxide(As2O3)三氧化二砷 20
Arsine(AsH3) 21
Asher:去胶机 22
Aspect ration:形貌比(ETCH 中的深度、宽度比) 23
Autodoping:自搀杂(外延时 SUB 的浓度高,造成有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延层) 24
Back end:后段(CONTACT 后来、PCM 测试前) 25
Baseline:原则流程 26
Benchmark:基准 27
Bipolar:双极 28
Boat:扩散用(石英)舟 29