2025年台阶仪操作规程VIP免费

1．目的1.1 台阶仪可用于测量轮廓、台阶高度、膜厚，用于控制多个薄膜的生长工艺，是物理、表面、材料、光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺、光盘沟槽的必备表征办法。1.2 功效：台阶高度测试，表面粗糙度计算，应用：多个符合尺寸的薄膜样品均可测试。2.范畴新能研发中心实验室3.责任实验室设备负责人，负责设备的使用及日常维护与点检并填写设备使用统计。4．操作流程4.1 打开电脑，开台阶仪电源，等待 10 秒后打开操作软件。4.2 打开台阶仪保护盖，小心放入样品。4.3 点击 Engage,观察样品与探针所在位置。4.4 点击 Z+将探针升起，将样品调到适宜位置。4.5 点击 Scan，进行扫描。4.6 分析数据。4.7 点击 Z+将探针升到顶端。4.8 取出样品，关闭保护盖。4.9 关闭操作软件，关闭台阶仪电源，关闭电脑。5. 注意事项5.1 待测样品要通过严格的送样登记、测试、统计程序，不明样品不得测试。5.2 测试前，用洗耳球吹扫样品表面，把灰尘等东西从样品表面吹扫干净，确保样品的干净度；吹扫时，洗耳球的尖端不能接触样品表面，避免破坏样品。5.3 接通电源，依次打开电脑开机按钮，显示屏按钮，台阶仪电源按钮，要等待一定时间（约 10 秒）后，待数据信息接通后，将电脑桌面上的操作软件 XP 打开，不应立刻打开软件进行测试。5.4 样品放置时，要确保样品在样品台上平稳放置，放置时要横平竖直，所要测试的台阶的位置靠近探针针尖的垂直位置。5.5 在探针降落到样品表面的过程中，先使用 Engage 按钮落针，此过程尽量不使用 Z-。 如探针距离样品很远，Engage 使用弹出警告的状况下才使用 Z-按钮；具体操作时，点击 1-2 下 Z-键，再使用 Engage 按钮让探针下落。如果再次出现警告，则再点击 Z-按钮，再使用 Engage 按钮落针，确保针尖安全。5.6 测试时，显示屏幕如果发现针尖位置的表面比较脏，如表面有诸多不明的颗粒存在于样品表面，停止测试，待送样者把样品解决干净后再作测试。5.7 断电时，UPS 自动启动，此时将探针升到顶端，取出样品，关上保护盖，关闭台阶仪电源，关闭电脑。5.8 台阶仪在使用的过程中，需作定时校准，为确保测试的精确性，临时定为一周校准一次。 5.9 清洁样品台无异物、赃物。5.10 擦拭台阶仪外壳表面无灰尘，用洗耳球对探针进行吹扫。5.11 探针针头与否完整，有无歪斜、探针脱落。5.12 台阶仪主机与电脑连接与否完好，各连接线与否处在连接位置。5.13 样品台与否整洁，...