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超大规模集成电路与系统导论
超大规模集成电路铜互连电镀工艺1.双嵌入式铜互连工艺随着芯片集成度的不断提高，铜已经取代铝成为超大规模集成电路制造中的主流互连技术。...
国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”2009年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装备、工...
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