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1、A 级的风速由 s 提高到±20%,也就是。（提高风速，据说国内的层流都达不到这么高的速度，我觉得完全是瞎说，我们的层流常常风速超高...
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集成电路洁净厂房设计工艺要求? 区域FFU 覆盖率洁净度温度控制（℃）相对湿度掩摸制造100% 1 22±45%±3% 光刻25% 100 22±45%±3%...
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