半导体材料能带测试及计算对于半导体,是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,其具有一定的带隙(Eg)
通常对半导体材料而言,采用合适的光激发能够激发价带(VB)的体的结构进行表征,可以通过其电子能带结构对其光电性能进行解析
对于半导体的能带结构进行测试及分析,通常应用的方法有以下几种(如图 2):1
紫外可见漫反射测试及计算带隙 Eg;2
VBXPS 测得价带位置(Ev);3
SRPES 测得 Ef、Ev以及缺陷态位置;4
通过测试 Mott-Schottky 曲线得到平带电势;5
通过电负性计算得到能带位置
紫外可见漫反射测试2
制样:背景测试制样:往图 3 左图所示的样品槽中加入适量的 BaSO4 粉末(由于BaSO4粉末几乎对光没有吸收,可做背景测试),然后用盖玻片将 BaSO4粉末压实,使得 BaSO4粉末填充整个样品槽,并压成一个平面,不能有凸出和凹陷,否者会影响测试结果
样品测试制样:若样品较多足以填充样品槽,可以直接将样品填充样品槽并用盖玻片压平;若样品测试不够填充样品槽,可与 BaSO4粉末混合,制成一系列等质量分数的样品,填充样品槽并用盖玻片压平
紫外可见漫反射测试中的制样过程图
测试:用积分球进行测试紫外可见漫反射(UV-VisDRS),采用背景测试样(BaSO4粉末)测试背景基线(选择 R%模式),以其为 background 测试基线,然后将样品放入到样品卡槽中进行测试,得到紫外可见漫反射光谱
测试完一个样品后,重新制样,继续进行测试
•测试数据处理数据的处理主要有两种方法:截线法和 Taucplot 法
截线法的基本原理是认为半导体的带边波长(兀)决定于禁带宽度 Eg
两者之间存在 E(eV)=hc/九=1240/九(nm)的数量关系,可以通过求取九来得到 E
由于目前很少用到这种方法,故不做详细介绍,以下主要来介绍 T