扩散CT工艺规程重点讲义资料VIP免费

赛维 LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散 CT工艺规程生效日期2011-01-06 页码第 1 页共 10 页1、 目的：建立正确操作扩散CT扩散炉的工艺的规范，以保证扩散的质量及保护机器和人身安全。2、范围：本指导书适用于扩散CT扩散炉工艺规程。3、工艺人员职责3.1 负责扩散工序生产工艺运行的正常性、稳定性。3.2 负责部门内工艺运行原始资料的累积，保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。3.3 负责应对 CT扩散炉设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。4、工艺生产4.1 检查“ Slider ”是否在上料位置， 若不在， 手动状态下移到上料处： “ Manual/Slider/to port ”（图 1）。把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置（图2）图 1 图 2 4.2 在“ Setup ”界面选择“ Boat ”项（图 3），选择一个舟号，进行工艺信息编辑。4.3选择确定后，进入“boat activation”界面（图4），点选“ Set boat active for handling ”、“ Set boat to ‘Ready for processing’和‘Boat will be removed for unload ’”复选框 , 再点击“ Next”按钮。赛维 LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散 CT工艺规程生效日期2011-01-06 页码第 2 页共 10 页图 3 图 4 4.4 进入“ Handling information”界面（图5），把舟上的编号输入到“Boat ID”一栏，同时选择 Load position为“ Slider”，再点击“ Next”按钮。4.5 进入“ Process tube selection”界面（图6），选择需运行工艺的管号，在正常情况下 1-4 管全部选中，再点击“Next ”按钮图 5 图 6 4.6 进入“ Boat information”界面（图 7）， 在 Actual boat location位置选择“Slider”，在 Boat state位置选择“ Wait for tube”，再点击“ Next ”按钮。4.7 进入“ Process information”界面（图 8），选择相应的运行工艺名，在“Lots in boat ”中输入相关舟的信息，再点击“Finish ”按钮。赛维 LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散 CT工艺规程生效日期2011-01-06 页码第 3 页共 10 页图 7 图 8 4.8 进入“ Summary”界面（图 9），显示每一步输入的信息，核对无误后，点击“OK”，信息输入完成。4.9 在“ Job”页面点击然“Run” 按钮（图 10...