界面的定义和说明2、颜色的定义及说明3、GEX系统控制5、VEX系统控制6、登陆和权限1、AEX系统控制7、MOCVD系统控制8、TREND趋势界面说明9、ALARM界面说明10、系统控制简要说明4、首页第一章、登陆和权限操作者在窗口中输入正确的用户名和密码后才可以进行相应的操作。当系统启动时，用户登陆窗口也会自动弹出用户权限分为1.监视用户权限：只监视过程参数，不操作；2.操作员权限：基本的参数设定，操作；3.工程师级权限：基本的参数设定，PID参数的修改，低低报警，低报警，高报警和高高报警的修改，及其用户管理维护。首页第一章、登陆和权限工程师级权限要返回操作员权限，以防对系统参数有误设定，按界面中以下按钮。当要退出系统程序时，按界面中以下按钮。输入正确的用户名与密码后，按“OK”键即可退出程序，返回到电脑系统桌面。首页第二章、界面的定义和说明1.概述图片树区及系统功能区工作区首页第二章、界面的定义和说明3.图片树区及系统功能区当前日期和时间系统退出GEX系统VEX系统AEX系统报警界面权限关闭趋势界面MOCVD系统GEX系统VEX系统AEX系统MOCVD系统首页第三章、颜色的定义及说明1、图标和颜色的定义风机状态：运行停止过载或故障风门：开启到位关闭到位过载或故障风机：运行停止过载或故障水泵：运行停止过载或故障加药机：运行停止过载或故障首页第三章、颜色的定义及说明3、按钮颜色定义：按钮颜色呈灰色，表示此按钮只作为状态的显示，并无操作功能按钮颜色呈黑色，表示此按钮可操控，并作为状态的显示2、数值颜色定义：绿色字体表示，此参数是读/写类型，用于控制的一些设定值红色字体表示，此参数是只读类型，用于系统或设备的一些监视值4、按钮定义：表示设备处于开启状态表示设备处于停止状态表示选择手动，并处于手动状态表示选择自动，并处于自动状态第四章、系统控制简要说明首页一、风机控制风机启停控制：（分为三种模式）1、按钮控制模式。选择“PB.”模式时，用户通过控制盘上风机启动和停止按钮控制风机变频器。2、人机界面手动模式。选择“HMI”模式时，触摸屏上“加减排序自动选择”在“手动”时，风机启停由“手动启停”的“ON”和“OFF”控制。3、人机界面自动模式。选择“HMI”模式时，触摸屏上“加减排序自动选择”在“自动”时，风机启停由PLC自动演算执行。依据“计算后需运转台数”和风机的“排序号码”启停，当“计算后需运转台数”>=“排序号码”时，风机启动，反之则风机停止。人机界面模式下，风机由自动切换为手动时，风机保持原先状态。第四章、系统控制简要说明首页一、风机控制加减载功能1、风车控制系统为保证制程的负压的稳定性和智能性，增加风车加减载自动控制功能。其中分为压力过低加载、压力过高减载、频率过高加载、频率过低减载，并具备加减载延时的性能。2、设定压力过低加载值和延长时间后，如果系统负压持续低于所设定的值到达设定的延长时间时，“计算后需运转台数”将自动加1，两台风车如果都在自动条件下，自动启动备用的风车；压力过高减载时，如果系统负压持续高于所设定的值到达设定的延长时间时，“计算后需运转台数”将自动减1，两台风车如果都在自动条件下运转，停止1台风车（排序号码较大的）。3、风车加减载功能，用户可以选择用或者不用；风车加载时，当具备加载条件的风车不够时，不执行加载；风车减载时，当“计算后需运转台数”减到“最小运转台数设定”后将不再减载。第四章、系统控制简要说明首页二、循环泵浦控制1、泵浦自动状态下，与风机联动，当风机运转时泵浦动作，风机停止时，泵浦停止。2、自动状态下，通过液位保护泵浦空转，当液位大于Lo点时，泵浦启动，液位低于LoLo点时，泵浦停止。采用二点式区间控制，防止泵浦由于水位不平稳出现频繁启动的现象。3、2台泵浦一用一备，用户设定自动切换的时间，保持2台泵工作时间相等，延长其使用寿命。第四章、系统控制简要说明首页四、补水阀控制1、自动状态下，当水箱液位低于Lo设定值时，开启自来水阀进行补水，当水箱液位上升至Hi设定值时，关闭自来水阀。2、当水箱在执行自动排水动作时，自来水阀关闭。第四章、系统控制简要说明首页五、排水阀...
