（一） 三氯氢硅 三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，英文名称：trichlorosilane 或silicoroform，分子式为SiHCl3，用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单位，也是生产半导体硅、单晶硅的原料
【理化特性】 分子式：SiHCl3；分子量：135
4；比重：1
35；相对气体密度：4
7kg/l；液体密度：1
318kg/l（常温状态）；气体密度：6
5g/l（标准状态）；1atm 下沸点：31
6℃；1atm 下熔点：-128℃；粘度0
29cp；爆炸极限：6
9%-70%；溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂；具有急性毒性；最高允许浓度1mg/m3
常温下纯净的三氯氢硅是无色、透明、挥发性、较四氯化硅更强的刺鼻气味
其化学性质如下： 1）易水解、潮解、在空气中强烈发烟，生成HCl 和H2
HCl 遇水立即转化为盐酸，盐酸具有很强的腐蚀性；H2 易燃易爆
2）易挥发、易气化、沸点低
3）易制备、易还原
4）易着火、易爆炸、着火温度220℃，燃烧时产生氯化氢和氢气
5）对金属极稳定
6）其蒸气具有弱毒性，与无水醋酸和二氯乙烯毒性程度相同
【健康危害】 侵入途径：吸入、食入、经皮吸收
健康危害：对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用，高浓度可引起角膜混浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿
皮肤接触后可引起组织坏死
【危险特性】 遇明火强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2、HCl 和Cl2，三氯氢硅的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸
【紧急处理】 1）以任何形式接触到三氯氢硅是都应当立即开始急救；尽快将受伤者从污染区域转移是很重要的
2）皮肤接触 当皮肤接触、衣服污染或者是两者都有，迅速脱掉所有的衣服和鞋袜，用大量的水清洗皮肤受污染部位，持续清洗至少 15 分钟；在做检查之前
