FANUC、OKUMA 机床的激光干涉仪检测方法 一、光的相干性 二、激光干涉法测距原理 三、FANUC 螺补参数的设定 四、关于 FANUC 系统正负方向补偿号的计算方法 五、FANUC 的检测用程式 六、OKUMA 螺补参数的设定 七、OKUMA 检测程式 八、检测值输入的方法 一、光的相干性 相長性干涉 當兩個波長相同的光束波形同步射出時，其波峰位置會如下圖 2 一般重合，固稱為“相長性干涉”。 在相長性干涉的情況下，輸出波的振幅等於兩個輸入波的振幅之和。 •相消 性干涉 當兩個相干光束波形以 180° 的相位差 異 步射出時，一個輸入光束的波峰位置會如下圖 3 一般與 另 一個輸入光束的波谷 重合，固稱為“相消 性干涉”。 在相消 性干涉的情況下，兩個輸入波會互 相抵 消 而產 生 暗 淡 的光 二、激光干涉法测距原理 图片： 根据光的干涉原理，两列具有固定相位差，而且有相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠，将会产生干涉现象，如图所示。由激光器发射的激光经分光镜A分成反射光束S1和透射光束S2。两光束分别由固定反射镜M1和可动反射镜M2反射回来，两者在分光镜处汇合成相干光束。若两列光S1和S2的路程差为Nλ(λ为波长，N为零或正整数)，实际合成光的振幅是两个分振幅之和，光强最大。当S1和S2的路程差为λ/2(或半波长的奇数倍)时，合成光的振幅和为零，此时光强最小。 激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换元件接收并转换为电信号，经处理后由计数器计数，从而实现对位移量的检测。由于激光的波长极短，特别是激光的单色性好，其波长值很准确。所以利用干涉法测距的分辨率至少为λ/2，利用现代电子技术还可测定0.01个光干涉条纹。因此，用激光干涉法测距的精度极高。 激光干涉仪由激光管、稳频器、光学干涉部分、光电接受元件、计数器和数字显示器组成 三、FANUC 螺补参数的设定 FANUC 0i、16M、18M FANUC 15M 5420 各轴参考点的补偿号 5421 负方向的最小补偿点号 5422 正方向的最大补偿点号 5423 螺补量比率 5424 螺补间隔 1851 背隙补偿 3620 各轴参考点的补偿号 3621 负方向的最小补偿点号 3622 正方向的最大补偿点号 3623 螺补量比率 3624 螺补间隔 1851 背隙补偿 FANUC 0M 11/0.1 螺补倍率 712-715 螺补间隔 756-759 螺补间隔 1000, 2000 3000, 4000 补偿基准点 1001-1128 2001-2128 3001-...
