信赖性管制基准 (Reliability Management Control Plan) Process Operation Spread 制程区域 Process/Product Controlled 制程/产品 管制项目 Criteria Specification 管制规格 Testing Criterion 测试条件 Equipments 使用设备 Frequenicy 检验频率 Reference Documents 参考文件 Operation Specification 操作规范 Insp Form No
使用窗体 / 编号 责任 部门 管制方法 内层前处理 水破试验 ≧15 秒 基板过磨刷浸入水中﹐取出呈 90 度滴水 秒表 1 次/班 内层课微蚀线作业指导书 内层课微蚀线作业指导书 内层课微蚀线水破时间测试记录表 内层 P-Chart 内层显影 氯化铜试验 无光亮 已显影板过酸洗和微蚀放入 5%的氯化铜溶液﹐观察铜面是否全部氧化 N/A 1 次/班 内层显影旧线作业指导书 内层显影旧线作业指导书 内层 P-Chart 内层蚀刻 靶孔距 依工单 二次元测试 二次元 首件 量测机作业指导书 量测机作业指导书 量测机量测记录表 实验室 X-R 管制图 内层蚀刻 蚀刻因子 ≧3 取一片线路板,过蚀刻后切片取九点(下线宽-上线宽)/铜厚之间的比值 研磨机 CY- 305 金相显微镜OLYMPUS 三个月 内层酸性蚀刻作业指导书 内层酸性蚀刻作业指导书 制程 P-Chart 棕化 剥离强度 ≧3IB/IN 拉杆速度 50MM/MIN 拉力测试仪 周 信赖性试验规范 拉力机作业指导书 拉力测试记录表 实验室 P-Chart 棕 化 离子污染度 ≦3
0u g/in2 1, 测试用试剂:75+/-3%异丙醇 2
程序: a)设定时间为 35 min b)输入批号/料