“椭偏测厚仪”有关情况介绍一、 引言：1、椭偏法是一种测量光在样品表面反射后偏振状态改变的广西方法，它可以同时测得样品薄膜的厚度和折射率。由于此法具有非接触性、非破坏性以及高灵敏度、 高精度等优点， 鼓广泛用于薄膜厚度及材料的光学常数的测定。2、椭偏法测量数据可在短时间快速采集，可对各类薄膜的生长和工艺过程进行实时监测，故已成为半导体行业重要的在线监测设备之一。3、纳米技术是当今科技的发展热点， 能精确测得纳米级薄膜厚度和折射率的椭偏测量技术受到人们的高度重视和关注。二、 椭偏测厚仪发展概况：1、椭偏测厚仪在我国起步较晚，70 年代我国自行设计生产的椭偏测厚仪只有“ TP-77 型 椭偏测厚仪”和“ WJZ型 椭偏测厚仪”。基本上是手动测量，仅配一种入射角和衬底材料的薄膜（n，d）~（Ψ ，Δ ）函数表（如 SiO2，70° 入射角，波长632.8nm）。2、 90年代末，华东师大学研制并生产了 “HST-1型”和“HST-2型”多功能智能椭偏测厚仪。 该仪器使用计算机技术， 利用消光法自动完成，测量薄膜的厚度和折射率。3、进入二十一世纪，国生产自动椭偏测厚仪的厂家逐渐多起来。如：天津港东科技发展生产的 “SGC-1型 椭圆偏振测厚仪”、“SGC-2型 自动椭圆偏振测厚仪”。天津拓普仪器生产的“ TPY-1型 椭圆偏振测厚仪”和“ TPY-2型 自动椭圆偏振测厚仪”等。现将目前国生产的几种自动椭圆偏振测厚仪，其性能指标等参数列表如下，供参考：国几种“椭圆偏振测厚仪”的性能参数HST-2 型多功能智能椭偏仪（华东师大学）SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪（天津港东）TPY-2 型自动椭圆偏振测厚仪（天津拓普）测量围1~2000 nm 1~4000 nm 1~4000 nm 测量最小值≤1 nm ≤1 nm 可测镀膜折射率围1.05~2.5 1.3~2.49 1.05~2.5 入射角连续调节围30° ~90°40° ~90°30° ~90°偏振器方位角围0° ~180°0° ~180°偏振器步进角0.05 °（起偏角 P 和检偏角 A 的测量分辨率）0.0375° / 步0.028 ° / 步仪器测量精度±0.1 nm （薄膜厚度在 10nm以下时）±0.5 nm （薄膜厚度在 10~100nm时）在 10 nm 处为±0.5 nm ±0.1 nm （薄膜厚度在 10nm以下时）±0.5 nm （薄膜厚度在 10~100nm时）光学中心高75 mm 80 mm 允许样品尺寸直径φ 10~φ 120 mm 厚度 <10 mmφ 10~φ 140 mm 厚度 <13 mm外形尺寸730×230×290 560×390×290 主机重量30 kg 25 kg ...
