下载后可任意编辑KEITHLEY 四探针作业手册南开大学 硅光电子学与储能实验室Four-Point Probe Operation | 2024四探针操作手册四探针操作说明书Four-Point Probe Operation第 1 章 ...............................引言11................................目的12............................应用范围13............................测试设备1.........................四探针................................1...................数字电压源表................................2第 2 章 ...........................原理简述31.............薄膜 ( 厚度≤ 4mm) 电阻率： 32........................薄膜方块电阻3下载后可任意编辑第 3 章 ...........................操作方法51................................引言52......................测试线连接方式53.......KEITHLEY 2400 高压源表设置指南 64........................探针接触方式85........................数据测试指南8第 4 章 ...........................注意事项10附表....................................I第1章 引言1. 目的本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。2. 应用范围测量参数：方块电阻，电阻率测量样品：均匀薄膜，均匀薄片方块电阻测试范围：～500MΩ电阻率测试范围：10-5Ω∙cm～103Ω∙cm样品大小：直径>1cm精度：<±5%3. 测试设备四探针生产厂商：广州四探针有限公司 RTS-2 型下载后可任意编辑基本指标：间距：1±；针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；机械游移率: ≤％；探针：碳化钨或高速钢材质，；探针压力：5～16 牛顿(总力)；使用环境：温度:：23±2℃； 相对湿度：≤65％； 无高频干扰； 无强光直射；基本参数：Fsp=探针间距：数字电压源表生产厂商：KEITHLEY 2400高压源表技术参数：准确度：％ 功率：20w 下载后可任意编辑型号：2400 品牌：吉时利 测量范围：可选高电压（1100V）或大电流（3A）源/测量（A） KEITHLEY2400通用型源表,最大可测量200V的电流和1A的电流，输出功率20W.主要特点及优点: 设计用于高速直流参数测度2400系列提供宽动态范围：10pA to 10A, 1μV to 1100V, 20W to 1000W四象限工作%的精确度，5 1/2 的分辨率可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量 在4 1/2 数位时通过GPIB达1700读数/秒 内置快速失败/通过测试比较器 可选...
