下载后可任意编辑多晶硅工艺生产技术葸国隆模板1多晶硅工艺生产技术 姓名: 葸国隆 日期: 12 月 11 日 下载后可任意编辑目 录目 录.............................................................I摘 要...........................................................II第一章 多晶硅的认识和产品的用途..................................1一、 什么是多晶硅..............................................1二、 什么是半导体..............................................1三、 纯度表示法................................................1四、 多晶硅产品的用途..........................................1第二章 多晶硅的生产方法..........................................2一、 锌还原法( 杜邦法) ........................................2二、 四氯化硅氢还原法( 贝尔法) ................................2三、 三氯氢硅热分解法( 倍西内法) ..............................3四、 三氯氢硅氢还原法( 西门子法) ..............................3五、 硅烷热分解法..............................................3六、 改良西门子法..............................................3第三章 改良西门子法工艺..........................................3一、 进展历程..................................................3二、 改良西门子法归纳起来有三大特点............................4三、 工艺生产化学反应方程式....................................4第四章 多晶硅生产的工艺过程.......................................4一、 合成部分..................................................41、 液氯汽化................................................42、 HCL 合成................................................63、 三氯氢硅合成............................................8二、 提纯部分.................................................11三、 氢化还原部分.............................................15I下载后可任意编辑1、 还原工序...............................................152、 四氯化硅氢化...........................................18四、 回收部分.................................................21五、 公用辅助部分............
