ESD培训课程ESD培训课程•课程目的ESD是电子可靠性工程的重要组成部分,本教材全面系统介绍了ESD基本知识、ESD控制标准、ESD防护技术等ESD知识通过学习可以理解ESD对电子产品的危害，明白ESD控制的重要性.ESD静电培训课程•一、ESD基本知识•二、ESD标准和测试•三、ESD控制ESD基本知识•静电及静电放电●静电：就是物体的表面一种处于相对稳定状态的电荷。●静电放电（ESD）带有不同静电电位差,在物体或表面之间的静电电荷转移。分接触放电和电场击穿介质放电。●静电过栽（EOS）导致电子元件损坏的结果。ESD基本识识●静电标识静电敏感区域警示标志静电敏感标识静电防护标识喷防静电液标识ESD基本知识•静电的产生a)摩擦带电：物质相互摩擦时，由于摩擦发生接触位置的移动和电荷分离而放出静电。b)流动带电：用管路输送液体产生的静电。c)喷出带电：由粉体、液体和气体从截面小的开口部位喷出,发生摩擦而产生静电；液体和粉体本身相互之间的撞击,以及小的飞沫摩擦产生大量的静电。d)剥离带电：互相密切结合的物体被剥离时引起电荷分离而产生静电ESD基本知识•静电的特性在3000伏时，你能通过皮肤感知在5000伏时，你能听见在10000伏里，你能看见•高电位：可达数万至数十万伏，人员操作时常达数百和数千伏（人通常对3.5KV以下静电不易感觉到）•低电量：静电流多为微安级（尖端放电例外）•作用时间短：微秒级•受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则静电积累减少，静电压下降.ESD基本知识•作业与静电人体活动产生典型的静电电压(V)人体活动湿度10-20%湿度65-90%在地毯上走动350001500在聚乙稀地板上走动12000250在工作台上工作6000100拿聚乙烯纤维包7000600从工作台上拿起聚乙烯衬垫200001200坐在填有聚氟脂泡沫的椅子上1800015000ESD基本知识•ESD的危害1、吸附灰尘→缩短产品寿命在旦夕3、放电损伤→产品失效4、电磁干扰→过程中断（不良数据、软件错误、校准失误、处理器停止运作）•硬损伤（致命损害）：表现为器件电参数突然劣化，失去原有功能。•软损伤（隐性损害）：受到软损伤的器件，虽然当时各类电参数仍合格，然而其使用寿命却大大缩短了•ESD失效：热熔化、介质击穿、ESD引发EOSESD基本知识•静电放电三要素Q＋M＋D=ESD“Q”：一定积累的静电荷“M”：放电途径，如金属接触、对地或低阻的泄放路径“Ｄ”：静电第三器件“ＥＳＤ”就是放电（ＺＡＰ）放电途径静电荷ＱESD敏感器件ESD基本知识•电子产品失效情况根据RAC的统计,在所有硬件故障中,ESD失效率占15%,而高静电敏感的器件EOS/ESD失效率高达60%左右.ESD引起半导体器件操作，使器件立即失效的机率约10%(短路、开路、无功能、参数不符合要求），而90%的器件则是引入潜在性损伤,损伤后电参数仍符合规定要求，但减弱了器件抗过电应力的能力，在使用现场容易出现早期失效．ESD基本知识•器件的ESD失效特征静电损伤是一种偶然事件，一般讲是与时间无关的，所以不能通过老化筛选方法加以剔除，相反，在老化过程中，由于器件接地不良，老化设备不适当的连接等，反而会提高ＥＳＤ失效的百分比。ESD静电培训课程•一、ESD基本知识•二、ESD标准和测试•三、ESD控制ESD标准和测试器件ESD敏感因素ESD对半导体器件和电子产品都存在严重危害,ESD对电子产品和器件的可靠性影响的主要因素有:电场强度、放电电流、电磁干扰。影响器件ESD敏感程度的因素包括：器件设计（结构和工艺）、ESD电流、能量包裹、电场强度、放电的上升时间、制造工艺和器件的封闭类型等。能量型敏感器件的损伤是由于流过双极型结构电阻、保护电阻、薄膜电阻、金属连线等的过电流引起。——即电流过大烧坏电压敏感性器件的损伤是由于ESD电压超过了器件内部氧化层、MOS管的栅极抢救无效的击穿电压引起。——即击穿ESD标准和测试•器件ESD敏感度测试分析标准ESD模型ESD标准及测试方法HBMJESD22-A114-B：2000ESDSTM5.1MIL-STD-883Method3015MIL-STD-750Method1020MIL-PRF-19500MIL-PRF-38535MMJESD22-A115-A:1997ESD-STM5.2CDMJESD22-C101-A:2001ESD-STM5.3.1ESD标准和测试•人体模式(HBM:HumanBodyModel)该模型表征人体带电接触器件放电,ESDSTM5.1和JEDECEIA...
