宜昌南玻硅材料有限公司 硅片加工项目废气处理装置 操 作 说 明 1 目录 一、 系统提示……………………………………………………………………2 二、 废气处理装置简介…………………………………………………………2 三、 操作说明……………………………………………………………………3 四、常规保养及定期保养内容…………………………………………………4 五、废气洗涤塔循环水更换……………………………………………………4 六、异常现象的原因分析………………………………………………………4 七、系统运行消耗………………………………………………………………5 2 一
系 统 提 示 请 仔 细 阅 读 以 下 所 有 的 提 示 并 以 此 为 标 准 进 行 系 统 的 操 作
1、 废 气 净 化 设 备 在 使 用 运 行 前 ， 认 真 检 查 各 设 备 电 源 是 否 配 备 正 确 ， 并 严 禁 人 员 接 近
2、 检 查 风 机 的 噪 声 与 振 动 ， 检 查 水 泵 的 流 量 与 扬 程 ， 检 查 药 水 与 废 气 中 有 害 气 体 的 匹 配和 浓 度
3、 严 格 控 制 循 环 水 的 PH 值 ， 严 格 禁 止 中 和 药 水 （ 含 固 体 药 物 ） 不 经 过 稀 释 直 接 加 入 循 环药 箱
二 ． 废 气 处 理 装 置 简 介 该 套 系 统 是 有 3 台 立 式 废 气 洗 涤 塔 组 成 ， 立 式 废 气 洗 涤 塔 是 气 液 逆 流 运 行 ， 抽 出 的 废气 由 塔 底 气 体 入 口 进 入 塔 体 ， 自 下 而 上 穿 过 填 料层， 最后从塔 顶管道出 口 经 防腐蚀风 机 排出
中 和 药 水 通过 循 环 水 泵 打到塔 顶通过 液 体 分布器， 均匀地喷淋到填 料层中 沿
