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TFCALC求膜层的N与K图文教程

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利用 TFC 求膜层的 N 与 K 图文教程1.首先利用晶控控制沉积单层膜,厚度约4-7 个 1/4 个中心波长,,这里假设在K9 基底上沉积单层 ZnS 薄膜,晶控显示厚度 390nm;2.然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率,测量范围最好宽些,这里测量400-1500nm,利用 list 选项导出所测量数据,并保存为 TXT 格式,这里命名 ZnS.TXT,如图所示:3. 打开 TFC,选择 modify-materials4.继续选择 Add Material,填写材料名称,选择合适的 N 与 K 的拟合公式,这里选择 Cauchy与Sellmeier公 式 , 如 果 不 合 适 , 可 试 选 别 的 公 式 , 点OK结束。5.试填写 A0 与 B1 等各系数,以后熟练可凭经验填写,点击 Fit Data 选项结束此步。/ M+ p& V3 z- f) A6 . 根 据 实 际 情 况 填 写 各 选 项 , 点 击SetConstraints结 束 此 步 。$ K* h* x0 s) N- p( f7.填写薄膜厚度与是否优化,点OK离开。8.回到上界面,点击Computer进行计算。9.下面为计算结果图,如果感觉结果可接受点击Accept 选项,如不接受,点击 Reject 选项返 回 重 选 拟 合 公 式 , 修 改 拟 合 公 式 系 数 或 膜 厚 等 参 数 继 续 计算。10.结果处理:感觉结果可接受点击 Accept 选项,出现下面界面,点击 convert 选项,填写 材 料 名 称 , 点 击 OK , 即 可 保 存 所 计 算 的 N 与 K 值 , 如 下 图 所 示 。 完工。

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