QG/ZDⅡ-T03-12-2003 中国电子系统工程第二建设公司 洁净厂房 高纯气体管道施工工艺标准 拟稿单位：总工程师办公室 编 制： 邓 顺 志 审 核： 王 开 源 批 准： 侯 忆 二 OO 三年一月二十五日 目 录 1、总则----------------------------------------------------------------------------------1 2、高纯气体的三个主要参数-------------------------------------------------------1 3、管道材料选择----------------------------------------------------------------------2 4、施工程序----------------------------------------------------------------------------4 5、图纸会审----------------------------------------------------------------------------5 6、工程测定----------------------------------------------------------------------------5 7、绘制管段图-------------------------------------------------------------------------5 8、设置预制洁净房-------------------------------------------------------------------6 9、材料检查确认----------------------------------------------------------------------6 10、保护气体的供给和管理---------------------------------------------------------9 11、管段预制--------------------------------------------------------------------------11 12、现场配管施工--------------------------------------------------------------------13 13、压力试验--------------------------------------------------------------------------19 14、系统吹扫--------------------------------------------------------------------------20 15、系统测试--------------------------------------------------------------------------21 附录1 露点、含湿量、绝对湿度换算表---------------------------------------24 附录2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级------------------------26 附录3 EP/BA 管自动氩弧焊接钨棒尺寸表------------------------------------27 1 1. 总则 1.1 本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。 1.2 气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部。 1.3 当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采...
