特气系统工程技术规范 1 总 则 1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。 1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。 1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。 2 术 语 2.0.1 特种气体 specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 特种气体系统 speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。 2.0.3 特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。 2.0.4 硅烷站 silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y 钢瓶、长管拖车或ISO 标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独 立 建构 筑 物 或区 域 。 2.0.5 明 火 地 点 open flame site 室 内 外有外露 的火 焰 或赤 热 表 面 的固 定地 点 。 2.0.6 散 发 火 花 地 点 sparking site 散 发 火 花 的烟 囱 或室 外电焊 、砂 轮 、气焊 等固 定地 点 。 2.0.7 空 瓶 empty cylinder 留 有残 余 压 力 的气体钢瓶。 2.0.8 实 瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压 力 的气瓶，特种气体气瓶一 般 水 容 积 为40L、47、48L 等各种容 积 。 2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders 用专 用金 属 框 架固 定，采 用集气管将 多 只 气体钢瓶接 口 并联 组 合的气体钢瓶组 单 元 。气瓶的个 数 分别 为9 个 、12 个 、16 个 不等，单 个气瓶的水 容 积 通常为40~50L。 2.0.10 气瓶柜 gas cabinet (GC) 特种气体使用的封 闭 式 气瓶放置与管理设备，一 般 应配置减 压 装置、真 空 发...
