1 system overview(太阳能电池自动上下料系统) 本手册提供指导用户正确的操作和维护太阳能电池自动装载系统
该系统配套 Roth & Rau PECVD 系统
2 个 100 片的cassette magazines 用来装载硅片,硅片通过传送带传输
当传送带上有 5 片硅片时,主机械手抓起传送至托盘
当硅片装满托盘,它会被装载到 Roth & Rau PECVD 系统
PECVD 工艺结束后,托盘通过底部的传送带由 Roth & Rau PECVD 系统传送到 unloading 系统
然后机械手每次抓起 5 片 wafer,并转移到 2 个互相交替卸载的输送机
每个硅片通过翻转单元传送到 stack magazines
卸载的机械手抓起硅片并将其放至stack magazines
该手册包含了许多电气图与原理图供用户引用,请在操作与维护设备前仔细阅读说明书
2 规格 1
1 产品名称:太阳能电池自动上下料系统 1
2 产品型号:FWLSP-300 1
3 电源:380V+-10% 50HZ 3 相 1
4 气体供应: 4
1 初始气压;6 公斤 4
2 控制部分气压 5-6 公斤 4
3 气体流量 500L/min 4
4 气管直径 Φ10, 2PLS 1
5 控制部分:PLC控制 1
6 尺寸:ON LOADER : 1935(H) x 2855(L) x 3590(W) UNLOADER : 1935(H) x 2855(L) x 3590(W) 1
7 重量:ONLOADER 3
5TON UN LOADER 3
5TON 1
3安装与维护 1
1 system cover area 1
2SYSTEM MOVING & LOCATION 1
1 移动 移动设备时请关闭电源与设备内存的压