1.1 system overview（太阳能电池自动上下料系统) 本手册提供指导用户正确的操作和维护太阳能电池自动装载系统。 该系统配套 Roth & Rau PECVD 系统。 2 个 100 片的cassette magazines 用来装载硅片，硅片通过传送带传输。当传送带上有 5 片硅片时，主机械手抓起传送至托盘。 当硅片装满托盘，它会被装载到 Roth & Rau PECVD 系统。 PECVD 工艺结束后，托盘通过底部的传送带由 Roth & Rau PECVD 系统传送到 unloading 系统。然后机械手每次抓起 5 片 wafer,并转移到 2 个互相交替卸载的输送机。每个硅片通过翻转单元传送到 stack magazines。卸载的机械手抓起硅片并将其放至stack magazines. 该手册包含了许多电气图与原理图供用户引用，请在操作与维护设备前仔细阅读说明书。 1.2 规格 1.2.1 产品名称：太阳能电池自动上下料系统 1.2.2 产品型号：FWLSP-300 1.2.3 电源：380V+-10% 50HZ 3 相 1.2.4 气体供应： 4.1 初始气压；6 公斤 4.2 控制部分气压 5-6 公斤 4.3 气体流量 500L/min 4.4 气管直径 Φ10, 2PLS 1.2.5 控制部分:PLC控制 1.2.6 尺寸：ON LOADER : 1935(H) x 2855(L) x 3590(W) UNLOADER : 1935(H) x 2855(L) x 3590(W) 1.2.7 重量：ONLOADER 3.5TON UN LOADER 3.5TON 1.3安装与维护 1.3.1 system cover area 1.3.2SYSTEM MOVING & LOCATION 1.3.2.1 移动 移动设备时请关闭电源与设备内存的压空阀，提高机器底部的连铸机转动螺母，并仔细检查电源连接线与压缩空气管是否断开。 1.3.2.2 LOCATION 1.3.2.3 连接电源 电源: 380ACV±10%, 50Hz, 3Phase 在设备顶部连接电源并打开电源开关。 1.3.2.4 连接压空 连接空气软管连接器的空气在系统的一边。 提供空气压力：5〜6kgf /㎟ 连接管路: Φ10 ㎜, 2PLS 1.3.2.5 气压控制 调节控制: 手动调至5-6公斤 1.3.2.6 空气过滤器的拆装 1.4. TOW ER LAMP 红 黄 绿 Red Blinking: Machine stopped due to some errors. Red: Machine is stopped by operator or by host computer. Yellow: Warning, Some action by operator is required. Machine is still running. Green: Machine is running in Auto mode Off: Machine is in stand by mode 1.5. 手册使用 （1）本手册定义为经营者的参考基本条件。...
