HEPA/ULPA 过滤器效率测试及检漏方法有关问题讨论 转载 –未经原作者许可，只用于学习讨论 1 、 HEPA ／ ULPA 过滤器效率测试方法 1．1 测试方法及其特点 当前对 HEPA 过滤器测试方法主要有： (1)DOP 法： 此法是以光度计作检测，测试用气溶胶必须是单分散 (0 ．31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的。 此法灵敏度不如粒子计数法，只能用于效率 99 ．99 ％ (0 ．3μm) 及 99 ．999 ％ (0 ．3μm) 的 HEPA 过滤器的测试。 (2) 粒子计数法 此法是以离散粒子计数器 (DPC) 作为检测仪器，测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质，选择范围较宽，常用多分散气溶胶，如 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的，亦常用 SPL( 聚苯乙烯乳胶球 ) 固体物质所发生的 0．1-0．2p,m 粒径的气溶胶。 此法灵敏度较高，目前主要用于 ULPA 过滤器其 η≥99．999 ％ (0 ．1-0．2μm) 的测试，当然亦可用于 HEPA 过滤器的测试。替代 DOP 法当已是趋势。 (3)MPPS 法 此法是欧盟 ENl822 标准所规定的，亦是以 DPC 作为检测仪器，测试用气溶胶要求同 (2) 。 其与粒子计数法的区别主要在于： 以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径， HEPA ／ ULPA 纤维过滤器在某一粒径下其过滤效率会出现最低，这是因为在此粒径下扩散机理与惯性机理对过滤器所起的过滤作用，两者都达到最低，此粒径与过滤器的滤料、给结构及滤速有关，一般在 0．1-0．3μm 间，对 ULPA 过滤器常为 0．1-0．2μm ；过滤器测试时，需先测定滤料的 MPPS ：另外，其对过滤器效率的测试不是采用整体测试，而是扫描测试每一处的局部穿透率然后统计处理 ( 按 95 ％置信度 ) 得出 < 整体 ) 穿透率及 ( 整体 ) 效率。最大允许局部穿透率比整体的高 5 倍或更多，见表 1 。 表 1. HEPA/ULPA 过滤器性能要求（ EN1822 ） 此法用于 HEPA ／ ULPA 过滤器的测试，其灵敏度比一般粒子计数法还高，更接近实际，在测效率的同时亦解决了扫描检漏。 (4) 钠焰法 此法采用火焰光度计，它对 NaCl 燃烧的火焰色度 ( 相当于 NaCl 的质量 ) 作响应， NaCl 质量粒径分布在 0．02-2μm 间或更狭一些。其质量平均粒径 (MMD) 在 0．5-0．6μm 间。此法灵敏度低，且 NaCl 对微电子工厂的产品质量有害，因此国外早已不用。 1．2 测试方法的灵敏度及其误差 1．2．1...
