- 1 - 1 前言 ISO 为全球各国标准化团体(ISO 会员团体)的联合会
其国际标准工作一般是由 ISO 各技术委员会执行
每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣,均有权作为此技术委员会的代表
任何与 ISO 保持联系的国际组织,无论是政府的还是非政府的组织,同样可参加此项工作
ISO 与国际电气技术委员会(IEC)在电气技术标准化方面进行紧密合作
国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅,以待表决
草案作为国际标准颁布至少需要 75%的会员团体投赞成票
国际标准 ISO 14644-1 由 ISO/TC209 洁净室及相关受控环境技术委员会提出
ISO 14644 在洁净室及相关受控环境 的总标题下,由下述各部分组成: 第 1 部分:空气洁净度等级划分 第 2 部分:为认证与 ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求 第 3 部分:计量和测试方法 第 4 部分:设计、施工和启动 第 5 部分:运行 第 6 部分:术语和定义 第 7 部分:增强的洁净装置 用户应注意,第 2 至第 7 部分的标题为第 1 部分发行时的工作标题
如果从工作计划中删除了一部分或几部分,剩余部分可以重新编写
附录 B 和C 为 ISO 14644 的组成部分,附录 A、D、E 和F 仅作资料用
引言 洁净室及相关受控环境保证空气中悬浮粒子被控制在合适的级别,以确保完成对污染敏感的有关活动
以下行业的产品和工艺均得益于空气中悬浮污染物的控制:航天、微电子、医药、医疗器械、食品和保健品
ISO 14644 的本部分指定 ISO 分级的各级别,以此作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术要求
本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序,而且确定了测试的标准方法
为划分等级,ISO 14644 的本部分仅限于确定粒子浓度限值用的指定的粒径范围