- 1 - 1 前言 ISO 为全球各国标准化团体（ISO 会员团体）的联合会。其国际标准工作一般是由 ISO 各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣，均有权作为此技术委员会的代表。任何与 ISO 保持联系的国际组织，无论是政府的还是非政府的组织，同样可参加此项工作。 ISO 与国际电气技术委员会（IEC）在电气技术标准化方面进行紧密合作。 国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。草案作为国际标准颁布至少需要 75%的会员团体投赞成票。 国际标准 ISO 14644-1 由 ISO/TC209 洁净室及相关受控环境技术委员会提出。 ISO 14644 在洁净室及相关受控环境 的总标题下，由下述各部分组成： 第 1 部分：空气洁净度等级划分 第 2 部分：为认证与 ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求 第 3 部分：计量和测试方法 第 4 部分：设计、施工和启动 第 5 部分：运行 第 6 部分：术语和定义 第 7 部分：增强的洁净装置 用户应注意，第 2 至第 7 部分的标题为第 1 部分发行时的工作标题。如果从工作计划中删除了一部分或几部分，剩余部分可以重新编写。 附录 B 和C 为 ISO 14644 的组成部分，附录 A、D、E 和F 仅作资料用。 引言 洁净室及相关受控环境保证空气中悬浮粒子被控制在合适的级别，以确保完成对污染敏感的有关活动。以下行业的产品和工艺均得益于空气中悬浮污染物的控制：航天、微电子、医药、医疗器械、食品和保健品。 ISO 14644 的本部分指定 ISO 分级的各级别，以此作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术要求。本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序，而且确定了测试的标准方法。 为划分等级，ISO 14644 的本部分仅限于确定粒子浓度限值用的指定的粒径范围。本部分还提供了标准协议，以依据大于或小于指定分级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级标识。 ISO 14644 的本部分为洁净室和污染控制系列标准中的一个标准。除悬浮粒子洁净度之外，还有许多因素必须在洁净室及其受控环境的设计、技术要求、运行和控制中予以考虑。这些内容在 ISO/TC209 技术委员会制定的其它国际标准中有详细论述。 在某些情况下，有关管理机构可能会规定动作一些补充的政策或限制。这就可能要求对标准的测试程序作适当的修改。 - 2 - 2 洁净室及相关受控环境— 第1 部分： 空气洁净度的分级 1 范围 ISO 14644 的本部...
