精品文档---下载后可任意编辑AC 耦合硅微条探测器的研制中期报告AC 耦合硅微条探测器是一种新型的硅微条探测器，其特点在于在读出电路中应用了沟通（AC）耦合方式，可以有效抑制电荷捕获和噪声干扰。本讨论从设计、制备、测试等多个方面开展了工作，现将中期进展进行报告。设计方面，经过分析，确定了探测器的尺寸为 10 mm × 10 mm，单个微条的宽度为 50 μm，间距为 200 μm，总共有 50 个微条。同时，对于 AC 耦合电路进行了详细的设计和仿真，确保了其能够满足性能要求。制备方面，采纳标准的 CMOS 工艺制备了探测器的硅基片。在该基片上使用了 218 nm 的 ArF 激光器进行了微条的刻蚀，同时使用 ITO 电极蒸镀工艺制备了探测器的金属电极。测试方面，对于制备好的探测器进行了测试。通过测试发现，AC 耦合方式确实能够有效抑制电荷捕获和噪声干扰，同时也能够提高信号的响应速度和灵敏度。在光照条件下，我们通过读出电路读取到了较为明显的信号响应。综上所述，本讨论在 AC 耦合硅微条探测器的设计、制备和测试方面取得了初步进展，为后续讨论和应用打下了基础。
