精品文档---下载后可任意编辑GaAs 微探尖的选择液相外延制备技术讨论的开题报告一、讨论背景及意义芯片集成电路技术正在飞速进展，为了满足这一领域中需要小尺寸、高性能器件的要求，扫描隧道显微镜（STM）成为了非常重要的讨论工具。而较细小的扫描隧道显微镜探针所需要的微探尖也需要相应的进一步设计和讨论。本次讨论旨在选择合适材料及技术，制备高性能、高稳定性的探针微探尖对于实现高分辨率的扫描隧道显微镜具有重要意义。二、讨论内容及方法本次讨论的主要内容包括以下几方面：1. 讨论选择合适的材料以制备高性能微探尖；2. 探究选择液相外延制备技术的优势，制备 GaAs 微探尖；3. 通过实验考察外延层生长条件对 GaAs 微探尖形貌等性能的影响。本次讨论采纳实验分析与计算机模拟相结合的方法，提高讨论效果。三、讨论预期成果本次讨论将可以选好金属材料，提高制备微探尖的质量。讨论过程中还可以探究选择液相外延制备技术的优点，进一步提高探针的制备效率和质量。最后，可以通过实验和计算机模拟，预测外延层生长条件对 GaAs 微探尖形貌等性能的影响。四、讨论的难点本次讨论的难点包括：1. 材料的选择，以及如何保证微探尖的制备质量；2. 液相外延制备技术的优化，提高 GaAs 微探尖生长质量；3. 对于制备条件的优化，以及外延层生长参数的选择等。五、讨论计划本次讨论的计划如下：1. 前期开始讨论与计算机模拟工作，选择一些常用的金属材料进行比对。2. 根据前期的讨论成果，选择较佳的制备材料来制备微探尖。3. 探究液相外延制备技术，制备 GaAs 微探尖。4. 讨论外延层生长时的生长条件，探究生长参数的选择。精品文档---下载后可任意编辑5. 最后，通过实验和计算机模拟，预测外延层生长条件对 GaAs 微探尖形貌等性能的影响。六、讨论进度安排1. 前期准备（2 周）2. 材料选择及比对以及计算机模拟（8 周）3. 微探尖制备及外延生长技术探究（20 周）4. 外延层生长条件探究与实验（20 周）5. 对实验结果进行分析，并对讨论成果进行总结（4 周）七、估计讨论经费本次讨论主要估计经费用于材料的采购和制备以及实验室的租赁等。具体预算如下：1. 材料采购：5000 元2. 实验室租赁：10000 元3. 实验所需设备费用：30000 元总计：45000 元。其中，设备费用可以向实验室借用，所以实际预算将减少到 15000 元。
