半导体材料硅的基本性质 一.半导体材料 1.1 固体材料按其导电性能可分为三类:绝缘体、半导体及导体,它们典型的电阻率如下: 图1 典型绝缘体、半导体及导体的电导率范围 1.2 半导体又可以分为元素半导体和化合物半导体,它们的定义如下: 元素半导体:由一种材料形成的半导体物质,如硅和锗。 化合物半导体:由两种或两种以上元素形成的物质。 1) 二元化合物 GaAs — 砷化镓 SiC — 碳化硅 2) 三元化合物 AlGa11As — 砷化镓铝 AlIn11As — 砷化铟铝 1.3 半导体根据其是否掺杂又可以分为本征半导体和非本征半导体,它们的定义分别为: 本征半导体:当半导体中无杂质掺入时,此种半导体称为本征半导体。 非本征半导体:当半导体被掺入杂质时,本征半导体就成为非本征半导体。 1.4 掺入本征半导体中的杂质,按释放载流子的类型分为施主与受主,它们的定义分别为: 施主:当杂质掺入半导体中时,若能释放一个电子,这种杂质被称为施主。如磷、砷就是硅的施主。 受主:当杂质掺入半导体中时,若能接受一个电子,就会相应地产生一个空穴,这种杂质称为受主。如硼、铝就是硅的受主。 图1.1 (a)带有施主(砷)的n 型硅 (b)带有受主(硼)的型硅 1.5 掺入施主的半导体称为N 型半导体,如掺磷的硅。 由于施主释放电子,因此在这样的半导体中电子为多数导电载流子(简称多子),而空穴为少数导电载流子(简称少子)。如图1.1 所示。 掺入受主的半导体称为P 型半导体,如掺硼的硅。 由于受主接受电子,因此在这样的半导体中空穴为多数导电载流子(简称多子),而电子为少数导电载流子(简称少子)。如图1.1 所示。 二.硅的基本性质 1.1 硅的基本物理化学性质 硅是最重要的元素半导体,是电子工业的基础材料,其物理化学性质(300K)如表1 所示。 性质 符号 单位 硅(Si) 原子序数 Z 14 原子量 M 28.085 原子密度 个/cm3 5.00×1022 晶体结构 金刚石型 晶格常数 a Å 5.43 熔点 Tm ℃ 1420 密度(固/液) g/ cm3 2.329/2.533 介电常数 0 11.9 本征载流子浓度 ni 个/ cm3 1.5×1010 本征电阻率 i ·cm 2.3×105 电子迁移率 n cm2/(V·S) 1350 空穴迁移率 p cm2/(V·S) 480 电子扩散系数 Dn cm2/S 34.6 空穴扩散系数 Dp cm2/S 12.3 禁带宽度(25℃) Eg eV 1.11 导带有效态密度 Nc cm-3 2.8×1019 价带有效态密度 Nv...