． 全自动单晶炉操作手册 REV
MANUAL_ZJS
Z02 （ TDR80A-ZJS/TDR85A-ZJS/TDR95A-ZJS 适 用） 2009 年05 月 上 虞 晶 盛 机 电 工 程 有 限 公 司 SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO
, LTD 第- 1 -页 目 录 第一章 单晶生长条件…………………………………………………………………………2 1
1 设备要求…………………………………………………………………………………2 1
2 辅料要求…………………………………………………………………………………3 1
3 安全要求…………………………………………………………………………………4 第二章 单晶生长标准流程 …………………………………………………………………5 2
1 拆炉………………………………………………………………………………………5 2
2 装炉………………………………………………………………………………………6 2
3 开始单晶的生长…………………………………………………………………………8 2
4 抽真空……………………………………………………………………………………9 2
5 检漏………………………………………………………………………………………1 1 2
6 压力化……………………………………………………………………………………1 2 2
7 熔料………………………………………………………………………………………1 3 2
8 稳定化……………………………………………………………………………………1 5 2
9 熔接………………………………………………………………………………………1 6 2
10 引晶…………………………………………………………………… ………………1 8 2
11 放肩………
