精品文档---下载后可任意编辑MEMS 圆板谐振器件挤压膜阻尼机理与模型开题报告一、讨论背景随着电子科技的进展，MEMS（微机电系统）技术被广泛应用于传感器、惯性导航器、振荡器等领域
圆板谐振器件是 MEMS 中的一种重要结构，具有振动频率高、体积小、功耗低等特点，能够用于高精度振荡器、滤波器等电子器件中
由于其结构特别，振动模式较复杂，因此在实际运用中存在着很多问题亟待解决
MEMS 圆板谐振器件的挤压膜阻尼机理对其性能有着重要影响
挤压膜阻尼是指，当圆板振动时，振动模态在完成一个周期后会活跃地扭曲并形成横向波纹，从而使其受到相应的阻尼力，影响谐振器件的振动特性
目前，关于圆板谐振器件挤压膜阻尼的讨论较为有限
因此，开展圆板谐振器件挤压膜阻尼机理的讨论，对于提高圆板谐振器件的性能，具有重要意义
二、讨论内容1
MEMS 圆板谐振器件的基本原理和振动特性分析；2
MEMS 圆板谐振器件的挤压膜阻尼机理讨论；3
基于有限元分析方法，建立 MEMS 圆板谐振器件挤压膜阻尼的数值模型；4
分析圆板谐振器件中挤压膜阻尼与其他阻尼之间的相互作用关系；5
验证数值模型的准确性，并进行实验测量
三、讨论意义1
对圆板谐振器件的性能进行深化讨论，为其应用提供理论基础；2
分析圆板谐振器件中挤压膜阻尼与其他阻尼之间的相互作用关系，为其优化设计提供依据；3
建立 MEMS 圆板谐振器件挤压膜阻尼的数值模型，为圆板谐振器件仿真分析提供工具
四、讨论方法精品文档---下载后可任意编辑1
文献资料调研和分析，了解圆板谐振器件相关理论知识和讨论进展；2
使用有限元分析软件建立 MEMS 圆板谐振器件的数值模型，并进行仿真分析；3
设计实验方案，对 MEMS 圆板谐振器件进行实验测量，验证数值模型的准确性
五、讨论进度计划1
前期调研和文献分析，掌握 MEMS 圆板谐振器件基本原
