光伏新能源净化工程洁净车间技术解决方案

精品文档---下载后可任意编辑[净化信息网专题]]净化信息网 http://www.zzwxp.com 精品文档---下载后可任意编辑1、光伏新能源硅晶片简介 光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像镜子一样光亮的圆片，是生产半导体集成电路芯片的原材料。目前微电子产业飞速进展，集成电路技术已迈入 0.18 微米以下的时代，极大地刺激了光伏新能源硅晶片的进展，同时对光伏新能源硅晶片的性能参数的要求也有较大的提高，因此光伏新能源硅晶片的进展前景十分乐观。 1.1 光伏新能源硅晶片的生产工艺流程 从大的方面来讲，光伏新能源硅晶片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅晶片生产两大部分，细分为以下几道主要工序：单晶棒生长-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角（圆边）-研磨/研磨片检查-蚀刻（化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺）-PTA 热处理-背面损伤处理-抛光（ML 粗抛、ML 精抛）-洗净-品质检查-干净包装从单晶棒生长到外径磨削为硅单晶棒生产工序，切片以后的流程为光伏新能源硅晶片生产工序。下面以某日资硅片厂为例，介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统和自控系统的设计方案。 1.2 各生产工序环境控制要求 某硅片厂生产 4~6 英寸光伏新能源硅晶片，产量为 480 万片/年。此公司光伏新能源硅晶片应用于分立器件、功率元件和特种集成电路的制作。 2、空调净化系统 空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特点，下面来介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统方案。 2.1 空调系统 1 切片室、倒角室、研磨片室仅有温度控制要求，设风冷热泵分体柜式空调机（PAC）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采纳双层百叶风口侧送风方式；室外机放置在屋面上。切片室的排风量较大，新风采纳直接蒸发式热泵型屋顶空调机 S1-1 和S1-2 来补充。车间有防尘要求，风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器（大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm 粒子），同样屋顶式空调机需设两级过滤器。 其原理图见图: 精品文档---下载后可任意编辑 2 炉室、BSD 室仅有温度控制要求，设风冷电热分体柜式空调机（PAL）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采纳方形散流器顶送风方式；室外机放置在屋面上。新风由相邻干净室正压过来。车间有防尘要求，风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器（大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm...