扩散炉安装说明书

中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 四 十 八 研 究 所 M5111-4WP/UM 系列 软着陆闭管高温扩散/氧化系统 安 装 调 试 说 明 书 中国电子科技集团公司第四十八研究所 2009 年 10 月 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 四 十 八 研 究 所 1目 录 1．概述..................................................... 1 2.设备的标识................................................ 1 3.设备的安装................................................ 1 3.1 结构安装.............................................. 1 3.1.1 安装要求............................................ 1 3.1.2 安装程序及注意事项.................................. 2 3.2 电气安装.............................................. 3 3.2.1 安装要求............................................ 3 3.2.2 安装程序及注意事项.................................. 3 4.关键部件的装调............................................ 4 4.1 SiC桨及石英炉门的装调................................ 4 4.1.1 开管装调步聚........................................ 4 4.1.2 闭管装调步骤....................................... 5 4.1.3 软着陆闭管装调步骤................................. 6 4.1.4 注意事项........................................... 10 4.2 真空部件的装调（如装备） ............................ 10 4.3 H/O合成部件的装调（如装备） ......................... 11 4.3.1 装调步聚........................................... 11 4.3.2 注意事项........................................... 11 4.4 恒温区的调试方法及验收判据........................... 12 5.调试时的安全要求......................................... 13 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 四 十 八 研 究 所 1．概述 为了加强产品在安装调试过程中的质量控制、规范操作，确保设备合格率以及防止安全事故的发生，特制定高温扩散/氧化系统安装调试说明书；设备在出所前的装配调试以及调机人员在用户现户现场的安装调试均应严格按照此执行。 2.设备的标识 1． 在设备的安装、调试及检验过程中，应在设备整体左端1.5 米高处挂上设备的...