精品文档---下载后可任意编辑原理OM光学显微镜optical microscope显微镜是利用凸透镜的放大成像原理，将人眼不能分辨的微小物体放大到人眼能分辨的尺寸，其主要是增大近处微小物体对眼睛的张角（视角大的物体在视网膜上成像大），用角放大率 M 表示它们的放大本领。大于看不清亚结构EDS能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer)（分为点、线、面扫 map）各种元素具有自己的 X 射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素 X 射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。探头：一般为 Si(Li)锂硅半导体探头探测面积：几平方毫米分辨率（MnKa）：～133eVSEM扫描电子显微镜（scanning 利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激分辨率：3-4nm放大倍数：20 万倍精品文档---下载后可任意编辑electron microscope）子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征 x 射线和连续谱 X 射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。SEM 是利用电子和物质的相互作用，可以猎取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪耀器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子 束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。特征 X 射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关，可用于成分分析。由于电子束只能穿透很浅表面，只能用于表面分析。有很大的景深，视野大，成像立体，可直接观察表面的细微结构；试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有 X 射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微...
