气体中水分的测量与校准 一、概述 各种气体的生产和使用都要考虑其中水分的影响。水有时也被认为是一种“万能溶剂”，这是由于它的独特的物理和化学性质所决定的。各个领域的研究与应用中都涉及到水分的分析，微电子工业，石油，化工领域尤为突出。 工业生产气体中水分不同于其它气体杂质（O2，N2，CH4，CO2 等），水分的存留与氢键有关，氢键比其它作用的范德华力和偶极矩力表现出更强的吸引力，因此水分被固体表面吸附就很难除去。一般用长时间吹扫的方法除掉气体中水分，使其达到 1－2PPM 含水量，即目前气体中水分含量的指标＜－70℃更低含量水从气体中除去与测量需要更高的技术。 近半个世纪以来，在气体中水分测量尤其痕量水分测量方面做了大量的研究工作，不断的研究出新的分析方法和相应的分析仪器。经典基准的镜面露点法，快速响应的电容法，绝对量值的电解法。测量灵敏度高且范围宽广的压电石英振荡法，各种光学吸收法和气相色谱法等。在气体分析中水分测量应用最多的是电容或水分析仪，其次是电解式水分析仪。国内外各生产厂商生产出众多型号的水分析仪，本文浅谈一下常用水份分析仪的特点与使用。 二、气体中水分析仪 表 1 几种测量水分方法的灵敏度 （1 ）电容式水分析仪 电容式水分析仪响应快，灵敏度高，操作方便，经济实用，因而在工业气体生产与应用中倍受欢迎，应用广泛。PANAMETRICS、SHAW、MICHELL 和 XENTAUR 公司等都在生产各种系列定型水分测量仪器，已在不同工艺中应用。 电容式水分仪原理都已清楚不再复述。下面着重介绍仪器性能和应用。 ①电容式水份仪响应迅速 电容式湿度传感器响应迅速，从制作工艺原理看，由于氧化铝吸湿层上无其它吸湿材料氧化铝层很薄，仅 0.000075 英寸，因此阻、容的响应直接与湿度有关。水蒸汽浓度从 10000 微克／升降至 10 微克／升（－60℃~－25℃）仅需几分钟。另外当湿度变化很小时，输出信号的变化取决于通过氧化层毛细孔的水分自由行程，因而使之响应很快。 必须于以说明，这种传感器响应快不存在仪器及管线的影响。正确的使用在被测气与传感器接触前，输送管线所吸收的水分要吹除干净，否则所测结果不代表气体中实际含水的真实值。SHAW公司的便携式 SADP 型和 XENTAUK 公司的 XTR－80 型露点仪待用时均在干燥气氛中保存，以保证迅速响应。 ②用空气校验与仪器测量值关系 SHAW 公司的露点仪以空气校验。简单方便。校验与测量时间合理安排。会得到好...
