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无锡华润晶芯半导体有限公司 Wu x i China Resou rces Semicondu ctor Wafers & Chips Ltd. 第 1 页 共 24 页 真空理论知识培训 拟制：许坤良 目录： 一. 基础知识： 二.往复式真空泵： 三.旋片式油封机械真空泵： 四.罗茨式真空泵： 五.分子真空泵： 六.油扩散泵： 七.低温泵： 八.真空泵流量的测量方法： 九.冲洗抽气法： 无锡华润晶芯半导体有限公司 Wu x i China Resou rces Semicondu ctor Wafers & Chips Ltd. 第 2 页 共 24 页 一.基础知识： 1. 真空及其度量： 真空----一般是指在给定的空间内，压力低于101325Pa 的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度，通常用气体的压力值来表示。 真空的主要特性-----真空状态同正常的大气状态相比较，气体较为稀薄，即单位体积内的分子数目较少，分子之间或分子与其他质点（如电子、离子）之间的碰撞几率减少，分子在单位时间内碰撞于单位表面积（如器壁）上的次数也相对减少。 分为：“自然真空”和“人为真空” 人为真空---是指人们对一个容器进行抽气而获得的真空空间。 气体的稀薄程度叫真空度。真空度可用气体压强、分子密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间来描述，在真空科学与技术中，通常都用气体的压强来表示。气体压强越低，真空度越高。 2. 换算关系： 1atm=1.01325*105Pa （1Pa=1N/m2）（760mmHg） 1atm=760mmHg=760Torr（标准大气压） 1Torr=133.322Pa（1Pa=7.5*10-3Torr=0.0075Torr=7.5mTorr） 1bar=105Pa=750Torr 1Pa=7.5mTorr 1mbar=750mTorr 3. 各真空区域的物理特性及应用： 低真空：1*105Pa-----1*102Pa=0.75Torr=750mTorr 中真空：1*102-----1*10-1Pa=0.75mTorr 高真空：1*10-1----1*10-6Pa=7.5mTorr 无锡华润晶芯半导体有限公司 Wu x i China Resou rces Semicondu ctor Wafers & Chips Ltd. 第 3 页 共 24 页 超高真空：1*10-6---1*10-12Pa 极高真空：小于10-12Torr 3.1 低真空（1*105Pa-----1*102Pa） 在低真空状态下，气态空间的特性和常压时相比，没有明显的不同。气体分子仍以杂乱无章的热运动为主，气体分子间的相互碰撞 十分频繁。 3.2 中真空（1*102-----1*10-1Pa） 在中真空状态下，由于压强较低，气体分子的密度和常压相比已有很大差别。气体的对流现象完全消失。气体流动也逐渐从粘滞流状态过渡到分子流态，即气体分子的动力学性质更为明显。气体中...